半導体洗浄の基礎と要点、困ったときの対策

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本セミナーでは、半導体製造における枚葉式洗浄機とバッチ式洗浄機の流れについて可視化観察例等を流れの特徴と問題点を考察を踏まえながら解説いたします。

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プログラム

半導体洗浄が直感で分かることを目指して、基礎現象と要点から困った時の対策まで1日で説明します。「清浄・きれい」の意味は何か?を改めて考えて動画を眺めると、洗浄という工程で行っていることが意外なほど直感で分かります。  ここでは、身近な流れの動画を見て感覚をつかみ、枚葉式洗浄機とバッチ式洗浄機の流れを可視化観察動画と計算例で理解します。超音波の効果についても動画を見るとイメージが湧きます。  終わりには、足元をすくわれた時の視点と対策を紹介して締め括ります。工学の初歩から応用のつながりまで説明しますので、半導体以外の洗浄や洗浄以外のプロセス技術者にも参考になります。

  1. 洗う理由:汚れは何?いつ、どこからなぜやって来る?
  2. 一般の洗浄
    • 洗浄の4要素
      • 温度
      • 時間
      • 化学
      • 力学
  3. 半導体の洗浄に特有のこと
  4. 先端技術情報
    • 半導体洗浄を取扱っている国際学会・国内学会
  5. 半導体洗浄の基礎現象 (薬液と流れの効果)
    1. 表面の現象とプロセス
      • 付着
      • 脱離
      • 引き剥がす
      • 乾かす
    2. 流れ、熱、拡散、反応
    3. 装置内流れの種類
      • 完全混合
      • 押出流れ
      • 境界層
    4. 流れの可視化観察 (簡単な例を動画で紹介)
  6. 洗浄機内の流れと反応
    1. 枚葉式洗浄機
      1. 水の流れ (観察動画と計算例)
      2. 化学反応の例
    2. バッチ式洗浄機
      1. 水の流れ (観察動画と計算例)
      2. 水流を最適化 (思うように変えてみた例)
    3. 超音波の働きと水の動き (観察動画)
  7. まとめ:困った時の視点と対策

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