フィルム・ウェブにおける摩擦のメカニズム、その測定評価と応用

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プログラム

第1部 フィルム・薄膜の「摩擦」に関する考え方と ウェブハンドリング技術の概要

(2022年8月24日 10:30〜14:00)

 摩擦の基本的な概念について説明する。また、薄膜の生産には一般的にウェブハンドリング技術が用いられているが、本製造過程においても摩擦と摩耗の理解が重要である。このような点に焦点をあてて解説する。

  1. 摩擦の基礎知識
    1. 摩擦の基本
    2. 摩擦のメカニズム
    3. 摩耗について
  2. ウェブハンドリング技術
    1. ウェブハンドリング技術について
    2. 薄膜の搬送・巻取りについて
    3. 不具合と摩擦の因果関係について
  3. 摩擦力とのそのコントロール
    1. 摩擦係数の測定について
    2. 薄膜の摩擦力について
    3. 摩擦力のコントロールについて

第2部 スベリ測定装置、フィルムの摩擦係数の測定とその進め方

(2022年8月24日 14:15〜14:45)

  1. フィルムのスベリ特性、摩擦係数の基本的な考え方
  2. フィルム間の摩擦係数測定器について
    1. 装置構成と測定メカニズム
    2. ファイル状試料について (適用材質、最大~最小サイズなど)
    3. 測定の進め方とその注意点
    4. 測定の規格について (ASTMD1894-63に準拠)
  3. 測定事例のご紹介
    1. 事例紹介
    2. 良く頂くご質問、ケーススタディ

第3部 (光干渉法による) フィルムの微細表面 形状測定とその摩擦の理解への応用

(2022年8月24日 15:00〜16:30)

  1. 微細表面形状測定法概論
    1. 触針式
    2. 光触針式
    3. SPM (AFM)
    4. 走査型電子顕微鏡 (SEM)
    5. 共焦点顕微鏡
    6. 光干渉式
    7. 各種測定法の比較
  2. 光干渉式表面形状測定法
    1. 干渉の原理と各種干渉光学系
    2. 位相シフト法の原理と応用例
    3. 白色干渉法の原理と応用例
  3. 光干渉式表面形状測定装置による透明膜の測定
    1. 各種膜厚測定技術:分光法、エリプソメトリ
    2. 光干渉法による表面・裏面・膜厚同時測定
    3. プラスチック・フィルムの測定
    4. 膜厚と屈折率の同時測定
  4. 三次元データ処理
    1. 平面補正と曲面補正
    2. 各種パラメータ:粗さ、PSD

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