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ミストCVD技術の開発動向と今後の可能性

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本セミナーでは、様々な薄膜の作製を可能にするミストCVD法の基礎知識と今後の展望を解説いたします。

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プログラム

大気圧下で大面積に亘り高品質な機能膜を形成するための技術として開発してきたミストCVDに関して、経緯、歴史、作製膜の特性、デバイス、ミストCVDに関する物理、次世代へ向けた開発の方向性等、詳しく説明します。

  1. 緒言
    1. 自己紹介
    2. 高知工科大学について
    3. 高知工科大学 総合研究所について
  2. 機能膜作製技術の現状とこれからの開発ポイント
    1. どういった物に利用されているのか
    2. それらを作製するシステムの大きさやコストについて
    3. 省エネプロセスの必要性とそれが達成されない理由
    4. 大気圧下で対象とする機能膜を形成する為のポイント
  3. ミストを利用した機能膜形成技術「ミストCVD」の特徴
    1. ミスト法とは
    2. 従来の成膜手法に対するミストCVD法の立場
    3. 超音波噴霧を利用した機能膜形成技術の歴史
  4. 原料供給手段に超音波噴霧を利用する利点
    1. 各種液滴の発生法
    2. 一般環境下で薄膜を形成するために適した液滴発生法とは
  5. ミスト流を用いた機能膜作製システムの装置群
    1. ミスト流を用いた機能膜作製システム
    2. 原料供給器
    3. 成膜反応装置周囲の基本システム
  6. ミストCVDの物理1
    1. 均質膜を作製する為の3つの手段
    2. 液滴のライデンフロスト状態
  7. ファインチャネル (FC) システムvsホットウォール (HW) システム
    1. 解析構造・条件
    2. 結果
  8. ミストCVDで作製出来る機能膜
    1. これまでに形成できた薄膜種
    2. 酸化亜鉛系 (ZnO)
    3. 酸化ガリウム系 (Ga2O3)
    4. 酸化アルミニウム (AlOx)
    5. 酸化インジウムガリウム亜鉛 (IGZO)
    6. 有機膜
    7. 層状硫化モリブデン (MoS2)
    8. その他
  9. ミストCVDで作製したデバイス
    1. 大気圧手法により形成された酸化物TFTの現状
    2. ミストCVDによるIGZO TFTの作製
    3. 特性および最適化
    4. その他のデバイス
      • IGZO
      • Ga2O3
      • SnO2 MESFET
      • Organic SC等
  10. ミストCVDによる量子素子の作製とその特徴
    1. 大気圧下で量子井戸が形成できる理由
    2. 作製した量子井戸の特徴
  11. ミストCVDの物理2
    1. ミスト同士は衝突しない
    2. 複合反応の抑制
    3. 組成制御技術
  12. ミストCVDの物理3
    1. 反応炉内でのミスト液滴の挙動
    2. ミスト流を利用した成膜プロセスにおける反応メカニズム
  13. まとめ
    1. ミストCVDとこれからのミストCVD
    2. ミストCVDの他なる可能性
    • 質疑応答

受講料

  • 1名様: 30,400円(税別) / 33,440円(税込)
  • 複数名: 20,000円(税別) / 22,000円(税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 20,000円(税別) / 22,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 30,400円(税別) / 33,440円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 66,000円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境 と テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。
  • 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
    ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
    印刷物は後日お手元に届くことになります。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
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