ガラス・サファイアの微細加工技術

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本セミナーでは、ガラスとサファイアの微細加工を対象として、硬脆材料加工におけるポイントについて解説いたします。
切削とウォータジェットの加工を対象とし、加工のメカニズムとその特性を説明し、幾つかの応用例を紹介いたします。

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プログラム

硬脆材料の部品は、従来、研削、研磨、エッチングによって成形して仕上げられてきました。また近年では、レーザによる加工も増えています。このように様々な加工法が適用されていますが、生産性やコストの観点で機械的な加工技術に対する期待も高まっています。  この講座では、ガラスとサファイアの微細加工を対象として、硬脆材料加工におけるポイントについて解説します。切削とウォータジェットの加工を対象とし、加工のメカニズムとその特性を説明し、幾つかの応用例を紹介します。

  1. ガラス加工技術の概要とエンドミル加工
    1. ガラスの微細加工におけるニーズ
    2. ガラスの微細切削加工
      1. ガラスの平削り切削における切りくず生成
      2. ガラスの切削過程の監視技術
    3. ガラスのエンドミル切削
      1. 硬脆材料のエンドミル切削におけるメカニズム
      2. ガラスのエンドミル切削特性
        1. 切削条件・工具材質に対する特性
        2. 逃げ面接触の効果
        3. 工具姿勢の効果
          • 切削温度・工具摩耗に対する効果
          • 仕上げ面粗さに対する効果
          • 脆性損傷に対する効果
  2. ガラスの切削加工の応用
    1. ガラス表面の微細構造加工
      1. 多刃微細工具による平削り切削の微細構造加工と応用
      2. エンドミル切削による微細構造加工と応用
    2. エンドミルによるマイクロ検査基板の加工
      1. DNAマイクロアレイに対する応用
      2. 微細流路加工に対する応用
    3. ガラスパネルの切り抜き加工
      1. ガラスパネルに対する今後の動向
      2. ガラスの端面加工における切削加工の適用とその特性
      3. 化学強化ガラスの切抜き加工における切削特性
  3. サファイアの微細切削
    1. サファイアの機械的特性
    2. 平削り切削特性
      • r面,m面における異方性
    3. エンドミル切削特性
      1. 仕上げ面特性
      2. 切削力特性
  4. ウォータジェットによるガラスの微細流路加工
    1. 微細流路の応用と対象
    2. ウォータジェットの加工メカニズム
    3. 微細流路加工
  5. ガラス加工における今後の展開

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