本セミナーでは、液膜の塗布・乾燥においてやっかいな「膜厚ムラ」の回避・抑制に向けて、液膜の流れや溶媒の蒸発特性等の塗布・乾燥の物理現象から、各種膜厚ムラの形成過程や起きている現象、対策方針、分析方法までを詳しく解説いたします。
日時
- 2022年3月23日 13時00分〜 2022年3月23日 16時30分
開催予定
プログラム
微細加工プロセスや各種フィルター・保護膜等の作製工程において、液膜の塗布・乾燥プロセスが欠かせないが、その過程で種々の膜厚ムラが発生する。これらの膜厚ムラは、作製する膜の用途によっては製品の寸法精度などの品質に直結する場合があり、これらのムラを回避・抑制する方策が望まれる。 このセミナーでは、主要な塗布方法であるスピンコート法と加熱乾燥を対象に、代表的な膜厚ムラとして 1) 基板端部に生じる隆起、2) 基板全面に渡って生じる放射状スジムラに注目して、その形成メカニズムと回避・抑制指針について実験的な観察と理論・数値シミュレーションの両面から解説する。
- 塗布乾燥工程の概要
- 関連する産業分野と塗布方式
- 関与する物理現象、種々の膜厚ムラ
- 液膜内の熱流動に関する物理
- 液膜流れ
- 表面張力と重力の影響
- 遠心力の影響
- マランゴニ効果
- 液膜に生じた膜厚不均一の緩和挙動
- 熱物質輸送
- 加熱乾燥と熱伝導
- 樹脂と溶媒の相互拡散
- 溶媒の蒸発特性
- 液膜流れ
- 各種膜厚ムラの形成過程と回避・抑制指針
- 基板端部の隆起
- 発生するムラの特徴:実験的な観察結果から
- 何が起きているのか:背景物理の理解と数値シミュレーション
- 対策方針
- 放射状スジムラ
- 発生するムラの特徴:実験的な観察結果から
- 何が起きているのか:背景物理の理解と数値シミュレーション
- 対策方針
- 基板端部の隆起
- 膜厚ムラの分析方法
- 膜厚ムラの観察方法
- 干渉光学系による膜厚の測定
- 数値シミュレーション方法
- 塗布・乾燥プロセスに関与する物性値の種類
- 液膜流れの性質を生かした、効率的な計算方法
- 膜厚ムラの観察方法
- 質疑応答
受講料
- 1名様: 30,400円(税別) / 33,440円(税込)
- 複数名: 20,000円(税別) / 22,000円(税込)
複数名受講割引
- 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 20,000円(税別) / 22,000円(税込) で受講いただけます。
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 30,400円(税別) / 33,440円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 66,000円(税込)
- 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
- 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
- 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。 - 他の割引は併用できません。
- サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。
アカデミー割引
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
- 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
- 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
- お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。
ライブ配信セミナーについて
- 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
- お申し込み前に、 視聴環境 と テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
- 開催日前に、接続先URL、ミーティングID、パスワードを別途ご連絡いたします。
- セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
- セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
- ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
- タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
- ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
- 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
- Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。