洗浄の基礎と構成設計・評価・管理および不良対策

本セミナーでは洗浄の概構想、及び理論等を用いた詳細設計、現場評価・管理、不良対応を幅広く説明いたします。洗浄全体を理解いただくとともに、品質向上・コスト低減活動の一助になればと思っております。 　まず、洗浄の基礎では、それぞれの洗浄方法の持つ特徴をベースに、装置や設備を考慮しトータルで洗浄の基本構成を決める方法を紹介していきます。次に洗浄メカニズムを基に洗浄理論で使用する各種データの取得方法やExcelを使っての洗浄シミュレーションを紹介します。また具体的な洗浄液の選定もしくは調整方法、洗浄装置の設計の注意点を説明いたします。現在の貴社工程の良否判断にも使えます。またオゾン水等の機能水洗浄の紹介を行います。省水、省薬液、省エネの洗浄として知っておくべき技術です。しかし、基本が確立されている洗浄工程でも量産では変動要素があるため日々の管理が必要になります。現場でできる洗浄品質等の簡易評価法とともに、工程管理項目や記録のポイント等の注意点を紹介します。 　最後に洗浄不良と対策例を示しながら対応方法の基本を陥りがちな行動を含めて説明します。洗浄不良は後工程でわかる場合も多いので注意が必要です。

1. 洗浄の基礎
2. 湿式洗浄の除去メカニズム
   1. 5つの基本工程と3つの除去メカニズム
      1. 濡れ
      2. 除去
         • 剥離、エッチング
         • 溶解
         • 分解
      3. 分散、再付着防止
      4. 排出 (リンス)
      5. 乾燥
   2. 水系洗浄
      1. 洗浄剤について
         • 界面活性剤と酸、アルカリの働き
         • DLVO理論応用による汚れ剥離と再付着防止
         • 電位-pH図応用によるエッチング
      2. 排出 (リンス)
         • PIV応用による排出効率向上
      3. 乾燥、除電
   3. 準水系洗浄、非水系洗浄、エマルジョン洗浄
      1. 洗浄剤について
         • ハンセン溶解度パラメーター応用による溶剤選定
      2. 排出 (リンス)
      3. 乾燥、除電
   4. 洗浄液選定の例
   5. 機能水洗浄
      1. ガス溶解水洗浄
         • RCA洗浄の代替
      2. 電解水洗浄
3. 湿式洗浄装置、治具
   1. 超音波 (メガソニック)
      1. 超音波洗浄メカニズム
      2. 異物大きさと周波数の目安
      3. 超音波洗浄の改善
   2. その他の機械力印加洗浄
      1. スクラブ
      2. ジェットスプレー
      3. 二流体シャワー
   3. 治具
      1. 治具の種類
      2. 使用時の注意点
4. 乾式洗浄の除去メカニズム
   1. プラズマ洗浄
   2. UV洗浄、オゾン洗浄
   3. レーザー洗浄
   4. アイス洗浄、ドライアイス洗浄、エアロゾル洗浄
   5. コロナ、光による除電
5. (乾式+湿式) 洗浄の除去メカニズム
   1. アッシング → 熱硫酸洗浄
   2. UV → オゾン水洗浄
   3. オゾンガス → 水洗浄
6. 洗浄不良と対策
   1. 洗浄液選定起因の不良
   2. 洗浄液管理起因の不良
   3. 同一洗浄液での異材質混合流動起因の不良
   4. 純水起因の不良
   5. 現場での不良原因確認と対応方法
7. 現場でできる簡易の品質評価方法
8. 洗浄工程の管理