照明光学系設計の基礎

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本セミナーでは、半導体や基板などの製造・検査に使われる照明光学系を平易に説明いたします。

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プログラム

皆さんは「輝度」という言葉を聞いたことがあるでしょう。しかし、その定義は複雑で正しい理解は容易ではありません。  そこで、本セミナーではまず照明に使われる用語をわかりやすく説明します。その上で、照明光学系の設計に不可欠の原理と特殊光学素子を紹介します。本セミナーを受講すれば照明光学系の合理的な設計ができるようになるでしょう。

  1. 用語と単位
  2. 原理
  3. 光源
  4. ライトパイプ
  5. フライアイ
  6. 参考書

受講料

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