半導体洗浄を直感で理解できることを目指して、基礎現象から困った時の視点と対策まで1日で説明します。洗浄とは何のために何をどうすることか?、「清浄・きれい」の意味は何か?を改めて考えると、意外なほど工程と現象が見えて来ます。ここでは、簡単な流れの例を動画で見て基礎現象の感覚をつかみ、湿式の枚葉式洗浄機とバッチ式洗浄機の流れを可視化観察動画と計算例で解説します。超音波の効果についても動画を見るとイメージが湧いて来ます。まとめでは、足元をすくわれた時の視点と対策を簡潔に説明します。
半導体以外の洗浄をしている技術者にも参考にして頂けます。また、化学工学の基礎と応用の視点から説明しますので、洗浄以外のプロセス技術者にも参考になります。
- 洗う理由:汚れは何?いつ、どこからなぜやって来る?
- 一般の洗浄
- 半導体の洗浄に特有のこと
- 先端技術情報
- 半導体洗浄の基礎現象
- 薬液と流れの効果
- 表面の現象とプロセス
- 流れ、熱、拡散、反応
- 装置内流れの種類
- 流れの可視化観察 (簡単な例を動画で紹介)
- 洗浄機内の流れと反応
- 枚葉式洗浄機
- 水の流れ (観察動画と計算例)
- 化学反応の例
- バッチ式洗浄機
- 水の流れ (観察動画と計算例)
- 水流を最適化 (思うように変えてみた例)
- 超音波の働きと水の動き (観察)
- まとめ:困った時の視点と対策
複数名受講割引
- 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 42,700円(税別) / 46,970円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 75,000円(税別) / 82,500円(税込)
- 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
- 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
- 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
- 他の割引は併用できません。
- サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。
アカデミー割引
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
- 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
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- お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。
ライブ配信セミナーについて
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