本セミナーでは、光ナノインプリントリソグラフィによるナノ造形・微細加工技術の先端研究例を東北大学・中川勝教授が解説いたします。
基板-レジスト間、レジスト-モールド間における理想的な界面を形成する材料技術、成形状態の可視化を可能とするレジスト材料、極限ナノ造形を目指すレーザー加工孔版印刷+光ナノインプリント成形技術など独自の先端技術が語られます。
日時
- 2021年9月27日 13時00分〜 2021年9月27日 16時30分
開催予定
プログラム
下地基板のナノ加工のための有型成形加工技術、光ナノインプリントリソグラフィに資する材料・プロセス・装置技術を概説します。 材料では、基板-レジスト間の密着分子層形成材料の選択、レジスト-モールド間の離型促進分子層の選択、成形状態の可視化を可能とするレジスト材料について説明します。 プロセスでは、非破壊で広領域の検査が可能な蛍光検査法、粗密パターンに対応するための被成形体の位置選択的配置法のレーザー加工孔版印刷を紹介します。特に、筆者らが注力しているレーザー加工孔版印刷法を組み込んだナノインプリント技術の特徴を習得できます。
- ナノインプリント技術における界面形成分子材料の重要性
- 基板-レジスト間の密着分子層
- 形成材料の選択
- レジスト成形・リソグラフィプロセスでの効果
- ナノすき間に向けた材料の組合せ
- レジストーモールド間の離型促進分子層
- モールドへの修飾材料
- 化学気相表面修飾の重要性
- 一桁ナノ成形に向けた材料選択
- 内添離型剤の効果
- 偏在補助剤
- 潤滑液体層
- ハイブリッドモールド材料の耐久性
- 成形状態の可視化を可能とするレジスト材料
- 紫外線硬化性可視蛍光液体
- 雰囲気ガスと充填欠陥・モールド汚染
- 残膜厚・パターンの均一性
- 蛍光アライメント技術への応用
- 基板-レジスト間の密着分子層
- レーザー加工孔版印刷を組込んだ新しいナノインプリントリソグラフィ技術
- 従来の孔版印刷に対する優位性
- 使用できる液体の粘度範囲
- 印刷液滴の均一性と定量性
- 光ナノインプリントリソグラフィでの実施例
- 酸素反応性イオンエッチングによる残膜除去
- シリコン微細加工の例
- マイクロパット電極
- 従来の孔版印刷に対する優位性
- 質疑応答
受講料
- 1名様: 30,400円(税別) / 33,440円(税込)
- 複数名: 20,000円(税別) / 22,000円(税込)
複数名受講割引
- 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 20,000円(税別) / 22,000円(税込) で受講いただけます。
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 30,400円(税別) / 33,440円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 66,000円(税込)
- 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
- 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
- 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。 - 他の割引は併用できません。
- サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。
アカデミー割引
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
- 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
- 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
- お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。
ライブ配信セミナーについて
- 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
- お申し込み前に、 視聴環境 と テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
- 開催日前に、接続先URL、ミーティングID、パスワードを別途ご連絡いたします。
- セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
- セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
- ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
- タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
- ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
- 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
- Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。