パーティクルカウンタを正しく使いこなすための基礎知識と活用法

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本セミナーでは、効果的な微粒子管理に必要なパーティクルカウンターの使いこなしについて、測定原理から使用上の注意点までを半日で速習していただきます。
清浄度の高い空間や純度の高い液体を扱う方にお勧めのセミナーとなっております。

日時

中止

プログラム

クリーンルーム内の維持管理や超純水および薬液に含まれる不溶性微粒子を測定する際に、気中および液中パーティクルカウンタを利用するのは、非常に有効な手段ですが、装置の動作原理および測定の際の注意点を理解することで、より効果的な運用を行うことが出来ます。  本セミナーでは気中および液中パーティクルカウンタの動作原理および注意点等を解説いたします。

  1. パーティクルについて
    1. 球体の等価測定
    2. 粒子径の同定
    3. 光の散乱
    4. 粒径分布
  2. 光学パーティクルカウンタについて
    1. 気中パーティクルカウンタの原理
    2. 気中粒子の動き
    3. 粒子搬送損失のメカニズム
    4. 液中パーティクルカウンタの原理
    5. 光遮蔽式パーティクルカウンタについて
    6. 光散乱式パーティクルカウンタについて
    7. 測定方法の違いについて
    8. 全量測定方式
    9. 部分測定方式
    10. 全量測定方式の製品群について
    11. 部分測定方式の製品群について
    12. パーティクルカウンタの検出限界
  3. 装置校正について
    1. 光散乱式粒子計数器の原理
    2. ISO21501 要求事項

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