大気圧プラズマ生成の基礎と応用

プラズマが、従来の低圧下の真空チャンバー内ではなく、大気圧の大気中において利用可能となってきています。 　そのような大気圧プラズマの生成について、プラズマをご存じない方にもわかるように基礎からご紹介すると同時に、どのような応用の可能性があるかについて大気中だけでなく液中での生成効果も含めて概説します。 　そして、各種材料プロセスや環境プロセスへの適用について、研究の現状をご紹介します。

1. 大気圧プラズマ生成概説
   1. プラズマの基礎事項
   2. プラズマ生成の機構
   3. 大気圧プラズマの種類と特徴
2. 大気圧プラズマの各種の応用
   1. 大気圧プラズマによる表面改質
      (金属酸化物表面の仕事関数制御を例として)
   2. 大気圧プラズマによる薄膜形成
      (SiO2膜成膜を例として)
   3. 大気圧液中プラズマによる化学反応制御
      (液中の有機化合物分解や溶解二酸化炭素の還元処理を例として)
• 質疑応答・名刺交換