クリーンルームにおけるゴミ・異物の見える化と静電気対策

「クリーンルームは管理無ければ只の箱」と言われます。その管理の基本『クリーン化の四原則』を明確にし、対象となるエリア「加工点」「保管場所」「搬送系」の3点を対象に、清掃を含めて、いかに効率的にかつ効果的な管理を行うのかを、いくつかあるクリーンルームの形態毎に、不良につながる可能性状態を動画や写真でご紹介し、効果的な管理につながる手法を明らかにしていきます。

• クリーンルーム環境で製造をしていても、異物不良が発生して困っています。
• クリーン度の数値は規格内にあり問題ないのに、異物不良が多発して悩んでいます。

　こうした声を多く聞く様になりました。これは、自工程で不良につながる粒子径や様態を確実に掴んでいないこと。また、パーティクルカウンターに頼った微粒子管理を優先していることが、要因として考えられます。 　5～10～100μmと言った『粗大粒子』にも着目し、ゴミ・異物の見える化手法やパーティクルカウンターでは、計測し難い粒径や様態の検出手法・数値管理方法を述べて参ります。また、ゴミ・異物管理～対策において避けて通れない「静電気」にも目を向けて管理手法・対策手法を明らかにして参ります。 　現場に戻り、即役立つ情報・技術・管理手法等を分かり易くご説明致します。ご質問や疑問点があるときは、質疑応答時間若しくは 終了後メールにてお寄せください。多くのご質問をお待ちしております。一緒に考えて解決して行きましょう。

1. クリーン化の基礎知識
   1. なぜ、クリーン化が求められるのでしょうか。
   2. クリーンルームの導入効果とは
   3. 加速するクリーン化の要求
   4. ものづくり環境はどうあるべきなのか。
      • 良い清浄環境とは?良い製造環境とは?
   5. クリーン化技術関連マップの解説
   6. クリーンルームの目的とは
   7. クリーンルームの活用事例
   8. クリーンルームの分類
   9. クリーンルームのはじまり～歴史
   10. クリーンルームの定義
   11. クリーンルーム環境の留意点
   12. クリーンルームの方式と特徴
   13. 2つの清浄化メカニズム
   14. HEPA/ULPAフィルターとは
   15. エアーフィルターの捕集原理と捕集効率
   16. なぜ、クリーン化四原則なのか
   17. クリーン度の表し方/クラス比較
   18. クリーンルームの日常管理 等
2. クリーンルームの清掃と見える化機器の活用管理
   1. クリーン化における清掃は技術として捉えよう
   2. この差ってなんですか?:掃除と清掃の違いって分かりますか。
   3. クリーンルームの清掃の目的と意義
   4. 「3つ」の管理POINTと標準化:いつ?誰が?どうやって?
   5. 生産環境における清浄化対象箇所
   6. 清掃はいつやるのが良いのか? 始業時?終業時?昼休み前後?
   7. クリーン化の四原則における清掃の位置付け:除去/排除する
   8. クリーンルームの占有状態と言う捉え
   9. 清浄化の重点箇所と留意点:加工点/保管場所/搬送系
   10. 「見える化機器」の活用法
   11. なぜ、見える化が必要なのか
   12. 気流の可視化も重要。:浮遊異物は気流によって運ばれる。
   13. クリーンルームの清掃方法
       1. 清掃作業員の適正化も大切
       2. 清掃方法の分類と方法:その1 日常/定期/特別と言う捉え
       3. 清掃方法の分類と方法:その2 簡易/普通/精密と言う捉え
       4. 清掃方法に関する留意事項:清掃し易い環境をつくる etc
       5. 清掃の手順はどうするのか。
       6. 清掃資材の汚れ状態も確認しよう
       7. 清掃用具類のあり方
       8. 清掃方法の効果と比較
       9. 静電気による粒子付着に対する清掃POINT
       10. 粘着マットの剥がし方にも注意を! 等
3. 防塵衣の管理と身近な発塵源と発塵対策
   1. なぜ、防塵衣を着るのでしょうか。
   2. 防塵衣の適正化に取組む各メーカー
   3. 人間の動作と発塵量
   4. クリーンルーム内のゴミ・異物の割合は?
   5. 皮膚からの発塵の抑制の考え方
   6. 防塵衣に求められる性能
   7. 織り込み導電繊維の効果って知ってますか。
   8. 防塵衣の性能を発揮するには?
   9. 防塵衣着用時の発塵機構を知ろう。
   10. 動作発塵評価 3事例ご紹介
   11. ポンピング発塵データご紹介
   12. 評価環境と機器類とは
   13. 防塵衣クリーニングのあり方:専用クリーニング
   14. 身近な発塵源と発塵対策:粗大粒子の捉え
       1. 身近な発塵源の状況可視化:動画でご紹介
       2. クリーンルーム内で使用する資材の評価と評価方法/データ
       3. 粗大粒子と言う捉え
       4. クリーンルームの中には、5μm以上の異物はないのでしょうか。
       5. 自工程で不良につながる異物粒径を知ろう
       6. 粗大粒子による影響が大きい
       7. 粗大粒子が原因となった不良事例 3点
       8. JISによる粒子の分類と定義
       9. 微粒子と粗大粒子の挙動/振る舞いの違い
       10. 気中パーティクルカウンターの特性
       11. パーティクルカウンターの吸引量による違いを知ろう
       12. ゴミ・異物の大きさと挙動の認識 (鉄1㎏と綿1㎏どっちが重い?)
       13. 粗大粒子対策は換気回数を上げても、減少しない。
       14. 粗大粒子は見える化出来る!
       15. 粗大粒子の見える化から数値化/数値管理法
       16. ISO-14644シリーズ
       17. ISO-14644-9 表面清浄度規格:SCP規格
       18. ISO準拠 粗大粒子測定器:落下塵カウンターの概要 等
4. クリーン化・異物対策における静電気対策
   1. なぜ、クリーン化において、なぜ静電気に注力しなければいけないのか?
   2. 静電気 (実態) 3つの原則
   3. 静電気の基本
      1. 発生原理
      2. 測定方法:測定機器を正しく使う
   4. 静電気対策3つの原則
      1. 対策機器・対策用品は納得して使う
      2. 作業マナーも立派な静電気対策
      3. 考えて接地する。
         • 静電気対策の考え方
         • イオナイザーの種類と除電メカニズム
         • 放電針の発塵現象
         • イオナイザーの管理項目と頻度
   5. 静電気は湿度に弱い?! 湿度と静電気の発生
   6. 静電気対策は費用が掛かる?
      • どこまで対策にこだわるのか?
   7. 対策方法事例紹介
      • 良い事例&悪い事例
   8. 後戻りしない対策のあり方
      • まとめ
• 質疑応答