クリーンルームの基礎知識

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本セミナーでは、初めてクリーンルームに携わる方のほか、クリーンルームに関わる技術を一度体系的に学びたい方を対象に、クリーンルームの基礎知識を分かりやすく、動画や実データを用いて解説いたします。

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プログラム

クリーンルーム技術の発展は、半導体製造用クリーンルームが牽引してきたといっても過言ではなく、これまで様々な汚染問題の検証や技術の開発がなされてきました。これらは、先人達が苦労して築き上げてきたものであり、論文や書籍等で伺い知る事ができます。一方、クリーンルームは様々な産業で使用されるようになってきているものの、各社でクリーン化を担当している方々におかれては、クリーンルームの基本的な維持管理など、相談する相手がいなかったり、先に述べた論文・書籍等を知らなかったり、様々な点で苦労していることが多いと思われます。  本セミナーは、初めてクリーンルームに携わる人のほか、クリーンルームに関わる技術を一度体系的に学びたい方を対象に、クリーンルームの基礎知識を分かりやすく、動画や実データを用いて解説する予定です。  つきましては、日頃の業務に役立てて頂きたく、ぜひ本セミナーにご参加下さいますよう、お願い申し上げます。

  1. はじめに
  2. クリーンルームの概要
    • クリーンルームとは
    • 非一方向流と一方向流の違い (動画による比較)
    • クリーンルームの指針や規格
    • 清浄度の決定・計算方法
  3. クリーンルームの気流制御・局所化
    • 微粒子の挙動
    • 気流制御の要点 (動画による解説)
    • 吸込口の位置影響
    • グレーチングの効果
    • 局所化の実施例
  4. クリーンルームの維持管理
    • モニタリング (気流の可視化方法や測定例を動画により紹介します)
    • ワースポイントの調査方法
    • 作業者の管理、発塵源
    • クリーンルームの清掃
  5. クリーンルームあれこれ
    • クリーンルームの規格
    • 静電気対策 (コロナ放電式イオナイザからの発塵対策も含みます)
    • ケミカル汚染対策
    • よくある失敗例
    • その他

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