洗浄のメカニズム、不良対策と評価法

本セミナーでは洗浄の概構想、理論等を用いた詳細設計、現場評価・管理、不良対応を幅広く説明いたしますので、洗浄全体を理解いただくとともに、品質向上・コスト低減活動の一助になればと思っております。 　洗浄の概要では、それぞれの洗浄方法の持つ特徴をベースに、装置や設備 (純水、排水等) を考慮しトータルで基本構成を決める方法を紹介していきます。 　次に洗浄メカニズムを基に基礎解析をしながら具体的な洗浄液の選定もしくは調整方法、洗浄装置の設計の注意点を説明いたします。現在の貴社工程の良否判断にも使えます。 　しかし、このように基本が確立されている洗浄工程でも量産では変動要素があるため日々の管理が必要になります。現場でできる洗浄品質等の簡易評価法とともに、工程管理項目や記録のポイント、装置や純水設備のメンテナンス等の注意点を紹介します。 　また、洗浄不良と対策例を示しながら対応方法の基本を、陥りがちな行動を含め説明します。洗浄不良は後工程でわかる場合も多いので注意が必要です。 　最後に、高品質洗浄への取り組みとして、洗浄理論で使用する各種データーの取得方法やそれらを使っての洗浄シミュレーション例題を提示します。また希薄な薬液と室温で精密洗浄できる機能水洗浄の紹介を行います。

1. 洗浄の基礎
   1. 汚れの種類
   2. 洗浄方法選択のポイント
      • 洗浄適正
      • 設備上の制約
2. 湿式洗浄の除去メカニズム
   1. 5つの基本工程と3つの除去メカニズム
      1. 濡れ
      2. 除去
         • 剥離、エッチング
         • 溶解
         • 分解
      3. 分散
         • 再付着防止
      4. 排出 (リンス)
      5. 乾燥
   2. 水系洗浄
      1. 洗浄剤について
         • DLVO理論応用による汚れ剥離と再付着防止
         • 界面活性剤と酸、アルカリの働き
         • 電位 – pH図応用によるエッチング
      2. 排出 (リンス)
         • PIV応用による排出効率向上
      3. 乾燥
   3. 準水系洗浄
      1. 洗浄剤について
         • ハンセン溶解度パラメーター応用による溶剤選定
      2. 排出 (リンス)
      3. 乾燥
   4. 非水系洗浄
      1. 洗浄剤について
         • ハンセン溶解度パラメーター応用による溶剤選定
      2. 排出 (リンス)
      3. 乾燥
   5. 装置、治具
      1. 超音波&メガソニック洗浄
      2. その他の機械力印加洗浄
         • スクラブ
         • ジェットスプレー
         • 二流体シャワー
      3. 治具
3. 乾式洗浄の除去メカニズム
   1. 減圧プラズマ
   2. 大気圧プラズマ
   3. UV、オゾン
   4. レーザー
   5. アイス、ドライアイス、エアロゾル
4. (乾式+湿式) 洗浄の除去メカニズム
   1. アッシング→熱硫酸
   2. UV→オゾン水
   3. オゾンガス→水洗浄
5. 設備
   1. 純水製造
   2. 排水、排ガス処理
6. 洗浄不良と対策
   1. 洗浄液選定起因の不良
   2. 洗浄液管理起因の不良
   3. 同一洗浄液での異材質混合流動起因の不良
   4. 純水起因の不良
   5. 乾式洗浄での再デポ起因の不良
   6. UV管理起因の不良
   7. 不良対策方法
7. 現場でできる簡易の品質評価方法
   1. 製品
   2. 洗浄液
   3. 純水
   4. 洗浄装置
8. 高品質洗浄への取り組み
   1. 湿式洗浄
      • 5つの基本工程の評価と改善
      • 超音波洗浄の改善
      • 機能水洗浄
   2. 乾式洗浄
      • 反応メカニズムの評価と改善
      • 装置構成
   3. 洗浄工程の管理方法
      • 日々の記録・解析
      • 装置の管理注意点
        • 純水製造装置
        • 洗浄装置
• 質疑応答