ウェットエッチングは工業的にも歴史が古く、かつ、高周波プリント基板やLSIおよび液晶デバイスなどの様々な先端分野で主力の加工技術となっています。また、ウェットエッチングは、量産性やコスト性および設備の簡易さに優れており、かつ、エッチングと同時にウェット洗浄も行えるという特長を有しています。
しかし、ウェットエッチングには、濡れ性制御、反応性コントロール、界面密着制御、マスク耐性などの様々な要因が関わっており、高精度化のためには、それぞれを最適化することが必要です。近年では、ウェットエッチングによるアンダーカット形状の高精度化が求められています。
本セミナーでは、ウェットエッチングの基礎メカニズムに重点を置きながら、エッチングの高精度化、トラブル対策についても解説します。日頃の技術開発やトラブル相談にも個別に応じます。
- ウェットエッチングの基礎
- 加工技術としての位置づけ (設計値とシフト量)
- 基本プロセスフロー
- プロセス支配要因
- 等方性エッチング (アンダーカット)
- 結晶異方性エッチング (結晶方位依存性)
- 表面エネルギー理論による界面浸透解析
- 処理装置
- 液循環
- ディップ
- シャワー
- スピンエッチ
- フィルタリング
- アンダーカット形状コントロール
- プロセスの基礎と最適化要因
- 被加工表面の最適化 (表面被膜、汚染、欠陥の影響)
- エッチング液
- エッチング液の選定 (等方性/異方性)
- エッチングレート (反応律速)
- エッチング液の劣化 (物質移動律速)
- エッチングマスク
- マスク剤の選定
- マスク剤の最適化
- マスクの形状劣化
- マスク内の応力分布と付着強度
- エッチング液の浸透 (CLSM解析)
- トラブル要因と解決方法 (最短の解決のために)
- マスクパターンの剥離 (付着エネルギーWa及び剥離要因)
- エッチング液の濡れ不良 (ピンニング不良)
- エッチング開始点の遅れ (コンタクトラインのVF変形)
- ホールパターンの気泡詰まり (界面活性剤)
- エッチング表面の荒れ
- 金属汚染 (RCA洗浄)
- 液中酸化 (溶存酸素)
- 再付着防止
- 乾燥痕
- 質疑応答
複数名受講割引
- 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 30,400円(税別) / 33,440円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
- 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
- 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
- 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
- 他の割引は併用できません。
アカデミー割引
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
- 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
- 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
- お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。
ライブ配信セミナーについて
- 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
- お申し込み前に、 視聴環境 と テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
- 開催日前に、接続先URL、ミーティングID、パスワードを別途ご連絡いたします。
- セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
- セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。
- 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
印刷物は後日お手元に届くことになります。
- ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
- タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
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