MEMS技術とそのプロセス
MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) は、半導体技術を発展させてSiウェハ上に回路だけでなくセンサや構造体あるいはアクチュエータなど多様なものを形成し、小形で高度な機能を持つ高付加価値の部品を実現する技術です。
スマホなどの部品のように大量に安価に供給されるものから、Siウェハ上でのテストに用いるプローブカードのように生産や試験に用いられるものまで多様です。
一般に多品種少量で開発がボトルネックになりますが、毎年12%程の一定の割合で売り上げが伸びてきました。
この技術では開発がボトルネックになりますので、幅広い知識や実際の試作経験などが大切です。このようなMEMSのこれからの開発に役立てて頂きたいと思います。
- 自動車・スマートホンなどで使われる (量産) MEMS
- IT機器、 バイオ・医療・健康などで使われる (量産・高付加価値) MEMS
- インフラ・安全・環境、製造・検査などで使われる (高付加価値) MEMS
- 基本プロセス1
- 基本プロセス2
- 組合せプロセス1
- バルクマイクロマシニング
- 表面マイクロマシニング
- ナノマシニング 他
- 組合せプロセス2
- ウェハ転写とヘテロ集積化
- 電気的接続
- パッケージングと真空封止
- ダイシング、テスト・評価、MEMS材料の機械特性、共振子、光MEMS、失敗例 他
- MEMSの要素
- MEMSのトレンドとLSIへの拡がり、設備共用、知識提供と連携 他
第2部 MEMS/NEMSの最近の応用事例について
(2021年3月10日 15:10〜16:30)
我々はナノ・マイクロデバイス科学の構築に向けて、現在以下5つの要素技術研究を行っている。
- MEMS
- ナノ・マイクロ加工
- 3次元実装技術
- 表面処理技術
- フレキシブルプリンテッドエレクトロニクス
本講演ではこの5つの要素技術の紹介と、それらを用いた幾つかの応用領域である、以下の研究について紹介する。
- マイクロ流路付き有機EL
- 3次元エレクトロニクス実装
- 先端材料
- バイオ・医療デバイス
複数名同時受講割引について
- 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
- 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
- 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
- 他の割引は併用できません。
アカデミック割引
- 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)
日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。
- 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
- 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
- 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
- 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
ライブ配信セミナーについて
- 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
- お申し込み前に、 視聴環境 と テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
- 開催日前に、接続先URL、ミーティングID、パスワードを別途ご連絡いたします。
- セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
- セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。
- 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
印刷物は後日お手元に届くことになります。
- ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
- タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
- 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
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