半導体洗浄に関わる基礎知識と手法について解説します。湿式の洗浄は、汚れを (1) 薬液や超音波などにより表面から引き剥がし、 (2) 「流れ」により運び去ること、によって行われます。即ち、洗浄の主要素の一つは、「流体 (液体) の動き」です。流れは難解に思われがちですが、流れを正面から捉えて、方法の理解、課題の発見、解明、解決と改善に結びつける方法を知れば、その効果は著しいはずです。
そこで本セミナーでは、予備知識として流れを含む「移動する現象」の基礎事項と法則から説明します。そして、流れの可視化実験の実演を通して、流れの見方を説明し、容器内の流れの様子を説明します。次に、枚葉式洗浄機とバッチ式洗浄機の流れ、超音波を加えた時の流れについて可視化観察例と計算例を紹介し、流れの特徴と問題点を考察します。特に、実際の水の動き、その水流のもとで進行する化学反応、理想的な水の動きとは何か、それを簡便に創り出す方法、そして、困った時の考え方について詳述します。
- 洗う理由:汚れは何?いつ、どこからなぜやって来る?
- 一般の洗浄
- 半導体の洗浄に特有のこと
- 先端技術情報 (半導体洗浄を取扱っている国際学会・国内学会)
- 半導体洗浄の基礎現象 (化学工学)
- 表面
- 流れ、熱、拡散、反応、境界層
- 半導体洗浄の要素を成す基礎現象
- 基礎現象の法則
- 装置内流れの種類
- 「流れ」の感覚を掴む
- 流れの可視化実験 (実演+映像)
- 流れの種類
- 枚葉式洗浄機の流れと反応
- 流れの可視化観察方法と例
- 流れの計算
- 表面反応の解析例
- バッチ式洗浄機の流れ
- 流れの可視化観察方法と例
- ノズル設計の視点
- 排出設計の視点
- 検証方法
- 超音波洗浄
- 超音波の効果と役割
- 超音波の影響:水流
- 超音波の影響:気泡
- まとめ:課題解決の要点
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