R to R導入への注意点・ノウハウ

要求される性能と耐久性を満足する枚葉での開発結果を、ロールtoロール方式に拡張する場合、単なるスケールアップだけでなくロール状のプラスチックフィルムを使用することによる装置やプロセスなど大きな課題に直面する。 　これらの課題は、実務経験の科学的分析を通して普遍的な知識として体系化することにより克服できるものと考えるが、現時点では現場のノウハウや暗黙知により行われることが多い。 　本セミナーにおいては、ロールtoロール方式による機能性フィルムの研究から生産にいたる技術開発、現場における製造管理など30数年におよぶ経験に基づく知見を整理・分析することで、本分野の課題と解決の手がかりを解説する。

1. プラスチックへの成膜技術
   1. プラスチックへの成膜技術が拓く世界
   2. プラスチックと無機材料
   3. プラスチック基板への成膜技術～成膜法の種類と特徴・長所/短所
      1. ドライコーティング
      2. ウェットコーティング
2. ロールtoロールの概要
   1. ロールtoロールによる成膜とは
   2. ロールtoロールのメリット、デメリット
3. ロールtoロールプロセス開発のポイントと問題点
   1. ロールtoロールプロセスの開発のポイント
   2. 膜形成プロセスと基本パラメタ制御
   3. 大面積基板への拡張
   4. 付着力の改善
4. ロールtoロール成膜要素技術
   1. 巾方向・流れ方向の膜厚、組成、構造の均一性制御
   2. 基板への熱流解析
   3. 成膜中のフィルム挙動,熱負け制御
5. ロールtoロール成膜装置・製造要素技術
   1. 成膜シミュレーション技術
   2. カソードおよびターゲット設計
   3. 成膜速度の限界、コスト、収率
   4. 欠陥 (膜外観や膜無し部分) の発生対策
   5. インライン測定による検査
• 質疑応答・名刺交換