5GやAI対応で益々の高速・大容量・低電力・軽量・小型可が求められる半導体にEUVLが活用され始めております。
iPhone12を筆頭にEUVLを用いた製品も市場に続々と登場しており、本セミナーでは、EUVLの基礎と、EUVL導入の効果について解説いたします。
日時
- 2020年12月21日 10時30分〜 2020年12月21日 16時30分
開催予定
プログラム
Covid-19と米中貿易摩擦の煽りを受け、世の中全体に不景気感が広がっているが、iPhone 12の登場は本格的な5G世代の幕開けを宣言するに十分な効果をもたらした。とくに、AI対応での高速・大容量・低電力に加え、軽量・小型の実現には極端紫外線露光技術の寄与が大きい。ようやく、半導体素子の量産に使われ始めた本技術について詳述する。
- 半導体製造の現状
- 微細化の効果
- EUVLの概要と導入の効果
- EUVL導入例
- 微細化の将来
- 極端紫外線露光の概要と歴史
- 個別技術の進展
- 光源開発
- 要求性能
- LPP光源の現状と課題
- 多層膜技術
- 多層膜の概要と設計法
- 多層膜の成膜技術
- 多層膜の評価
- 反射光学系
- 反射光学系の要求条件
- 反射光学系の設計法
- ミラーの加工法と評価
- ミラー光学系の合わせ法
- 反射型マスク技術
- 反射型マスクの要求条件
- マスクの構造と製作法
- マスク検査技術
- EUVレジスト
- EUVレジストの要求条件
- レジストの現状
- ペリクル技術
- 光源開発
- 次期システム・高NA機の開発概要
- 今後の課題
- 質疑応答
受講料
- 1名様: 30,400円(税別) / 33,440円(税込)
- 複数名: 22,500円(税別) / 24,750円(税込)
複数名受講割引
- 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 30,400円(税別) / 33,440円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
- 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
- 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
- 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。 - 他の割引は併用できません。
アカデミー割引
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
- 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
- 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
- お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。
ライブ配信セミナーについて
- 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
- お申し込み前に、 視聴環境 をご確認いただき、 ミーティングテスト にて動作確認をお願いいたします。
- 開催日前に、接続先URL、ミーティングID、パスワードを別途ご連絡いたします。
- セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
- セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。
- 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
印刷物は後日お手元に届くことになります。 - ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
- タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
- 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
- Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。