XPS (ESCA) の基礎と実践応用テクニック

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本セミナーでは、XPSの原理、試料作製と測定条件の設定方法、データ解析を適切におこなうためのノウハウを詳解いたします。

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プログラム

固体表面は、物質の内部と異なる化学組成や状態をもっていて、他の材料や環境との界面となる。このため、剥離や変色などの問題はもちろんのこと、電池材料・触媒・半導体・各種材料やデバイスで表面・界面を制御し理解することが商品開発のキーポイントとなる。さまざまな表面分析の中でも最も使用頻度の高い手法はXPS (ESCA) である。製造、品質保証や研究開発の現場においてXPSによる表面分析は重要である。ただし、表面数ナノメートルの分析をおこなうXPSでは、正しい測定手法の理解と、適切な分析運用が必須となる。  本講座ではXPSの原理、試料作製と測定条件の設定方法、データ解析を適切におこなうためのノウハウを紹介し、応用例を用いてわかりやすく解説する。

  1. 表面分析とは
    1. 表面の重要性
    2. 各種表面分析手法
    3. 他の表面分析手法との比較
      • AES
      • TOF-SIMS
  2. XPS (ESCA) の原理と特徴
    1. 装置の構成
    2. XPSの原理
    3. XPSスペクトルと化学シフト
    4. XPSが表面分析となる理由
    5. 深さ方向分析
    6. イメージング分析
    7. その他の分析モード
  3. XPSの試料作成と測定条件
    1. 測定できる試料
    2. サンプリングの注意点
    3. 粉末試料
    4. 絶縁試料
    5. 電池材料、および導電物と絶縁物の混在試料
  4. 測定
    1. ワイドスペクトル (サーベイスペクトル)
    2. ナロースペクトル
    3. 微量成分の検出
  5. データ処理
    1. ピークシフト
    2. 定量計算
    3. 定量範囲の決定
    4. 化学状態の推定 (カーブフィット)
    5. その他のデータ処理
  6. 最新の測定技術
    1. マイクロXPS分析
    2. ガスクラスターイオン銃による有機試料の深さ方向分析
    3. ガスクラスターイオン銃による無機試料の表面クリーニング
    4. 高エネルギーXPS (HAXPES)
    5. UPS (紫外光電子分光) とLEIPS (逆光電子分光)
    6. その他のXPS測定技術
  7. まとめ、質疑

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