ここ10年ほど、大気圧プラズマが注目を集めています。以前の大気圧プラズマは5,000℃以上の高温で廃棄物処理や溶接など行っていたましたが、今世紀に入った頃から低温プラズマが利用できるようになったため、金属やセラミックスだけでなく、プラスチックや布、紙、さらには生体や液体や食品などにもプラズマを照射できるようになりました。大気圧プラズマは真空容器や排気設備を必要とせず、プラズマ生成のための電力も小さいので、産業応用には大変有利なため、表面処理を中心とした応用が進められています。しかし、大気圧プラズマの中身は理解が容易ではなく、有効利用法もわかりにくくなっています。
本講座では、大気圧プラズマの中身と様々な装置をわかりやすく解説し、様々な応用例を紹介します。本講座は、大気圧プラズマ装置の導入や、さらなる有効活用の参考になると考えています。
- 大気圧プラズマの基礎
- プラズマとは
- なぜ大気圧プラズマ
- 様々な大気圧プラズマの生成法と特徴
- プラズマ中では何が起こっているか
- プラズマ中粒子の衝突・励起・発光など
- 大気圧プラズマの温度・密度
- 大気圧高温プラズマとその応用
- 大気圧高純度マルチガスプラズマ
- 地球温暖化ガスの分解
- 高速半導体プロセシング
- 大気圧低温プラズマとその応用
- マルチガス化の必要性
- 零下から高温まで温度を制御できるプラズマ
- 表面や粉体の親水化処理/クリーニング/接着性向上
- 液体を使用した新しいコーティング法
- 殺菌/ウイルスの不活化
- マイクロバブル、超音波との併用
- 金属酸化膜の高速還元処理
- 大流量排気ガスの無害化処理
- 医療応用
- 農業応用
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