本セミナーでは、MEMS材料の開発とデバイスへの応用、R&Dの進め方、事業化のための考え方を詳解いたします。
日時
- 2020年9月14日 13時00分〜 2020年9月14日 16時30分
開催予定
プログラム
富士フイルムにて圧電材料そのものの開発、製造装置の設計さらにはMEMS事業をゼロから立ち上げてきた筆者が、経験を元に学術的な視点だけではなく実際に使える現場視点/産業界の視点から、MEMS材料の開発とデバイスへの応用を、R&Dの進め方、事業化のための考え方を伝授いたします。MEMS研究者だけではなく、研究をいかに進めるべきかの参考になります。
- 自己紹介
- はじめに
- MEMSとは?
- 静電MEMS
- 圧電MEMS
- 静電MEMS VS 圧電MEMS
- MEMSのコストイメージ
- 圧電材料と成膜方法
- ゾルゲル法、MOCVD法、スパッタ法、アロゾルデポジション法
- 圧電材料の種類と特徴
- 各社の圧電膜について
- Pb系材料
- KNN系材料
- AlN系材料など
- 圧電膜の特性と適した応用先
- スパッタ法による高性能圧電体Nb – PZT材料の開発
- 材料開発のコンセプト
- スパッタ法における材料開発のテクニック
- Nb – PZT膜の特徴
- 分極レスの特徴によるメリット
- 圧電膜のMEMS応用
- 圧電MEMSのプロセスフロー
- インクジェットヘッドへの応用
- マイクロミラーへの応用
- 超音波利用素子への応用
- 振動発電素子への応用
- MEMSテーマの考え方
- 終わりに
- 質疑応答・名刺交換
受講料
- 1名様: 38,000円(税別) / 41,800円(税込)
- 複数名: 20,000円(税別) / 22,000円(税込)
複数名受講割引
- 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 20,000円(税別) / 22,000円(税込) で受講いただけます。
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 38,000円(税別) / 41,800円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 66,000円(税込)
- 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
- 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
- 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。 - 他の割引は併用できません。
オンライン受講割引
- オンライン受講の場合、1名様 30,400円(税別) / 33,440円(税込) で受講いただだけます。
- 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 20,000円(税別) / 22,000円(税込) で受講いただけます。
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 30,400円(税別) / 33,440円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 66,000円(税込)
- 申込みフォームの受講方法から「オンライン」をご選択ください。
- 他の割引は併用できません。
アカデミー割引
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
- 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
- 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
- お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。
会場受講 / アーカイブ配信対応セミナー
会場受講 または オンラインセミナー (アーカイブ配信) のいずれかをご選択いただけます。
お申し込みの際、受講方法の欄にて、会場受講またはオンライン受講をご指定ください。
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オンラインセミナーをご選択の場合、以下の流れ・受講内容となります。
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