誘電体・圧電体の入門講座

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本セミナーでは、コンデンサ、センサ、アクチュエータ、振動子、MEMS素子、サーミスタ、光変調器、光高調波発生器、 超高密度記録、揮発性メモリー、キャパシタ、発電・蓄電分野などに利用される誘電体・圧電体について基礎から解説いたします。

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プログラム

誘電体、圧電体の基礎、評価方法、その応用について説明する。実際に評価するうえで注意すべき点を示す。また、最近の話題として、圧電MEMS、エネルギーハーベスト、高温対応、電気熱量効果についても触れる。

  1. はじめに
    1. 誘電体、圧電体とは
    2. 誘電特性評価の実際と解析方法
      1. 誘電分極と誘電率
      2. 誘電分散 (周波数依存性)
      3. 誘電損失
      4. 強誘電体
      5. 測定振幅、バイアス電圧依存性
      6. 温度依存性
    3. 圧電特性、電界誘起ひずみ評価の実際と解析方法
      1. 動的測定
      2. 共振反共振法
      3. 正圧電法 (d33メーター 他)
  2. 誘電体および圧電体薄膜
    1. 薄膜の作製と特性
      1. PZT等鉛系圧電体
      2. 非鉛圧電体
        • BaTiO3系
        • (Bi、Na) TiO3系
        • (BiNd) 4Ti3O12系 など
    2. 誘電圧電体薄膜の応用
      1. チューナブルキャパシター
      2. 圧電MEMS
      3. エナジーハーベスト応用
        • 圧電
        • 焦電
  3. セラミックスの物性と応用
    1. SPS焼結したBaTiO3系の誘電圧電特性
    2. マイクロ波誘電体セラミックス
    3. PZT系の低温焼結 (助剤添加、微細出発粉末使用)
    4. 非鉛圧電体の動向
      • RoHS
      • ELV等
    5. 電気熱量効果
  4. 蓄電地、キャパシタ、エネルギー関連分野での応用事例
  5. まとめ

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