クリーンルームにおけるゴミ・異物の見える化と静電気対策

「クリーンルームは管理無ければ只の箱」と言われます。その管理の基本『クリーン化の四原則』を明確にし、対象となるエリア「加工点」「保管場所」「搬送系」の3点を対象に、清掃を含めて、いかに効率的にかつ効果的な管理を行うのかを、いくつかあるクリーンルームの形態毎に、不良につながる可能性状態を動画や写真でご紹介し、効果的な管理につながる手法を明らかにして行きます。 　クリーンルーム環境で製造をしていても、異物不良が発生してしまう。クリーン度の数値は規格内にあり問題ないのに、異物不良が多発してしまう。こうした声を多く聞く様になりました。これは、自工程で不良につながる粒子径や様態を確実に掴んでいないこと。また、パー ティクルカウンターに頼った微粒子管理を優先していることが、要因として考えられます。 　5～10～100μmと言った『粗大粒子』にも着目し、ゴミ・異物の見える化手法やパーティクルカウンターでは、計測し難い粒径や様態の検出手法・数値管理方法を述べて参ります。また、ゴミ・異物管理において避けて通れない「静電気」にも目を向けて管理手法・対策手法を明らかにして参ります。現場に戻り即、役立つ情報・技術・管理手法 等を分かり易く、ご説明致します。ご質問や疑問点があるときは、その都度 ご発言して構いません。多くの方のご発言をお待ちしています。一緒に考え解決して行きましょう。

1. クリーン化の基礎知識
   1. なぜ、クリーン化が求められるのでしょうか。
   2. クリーンルームの導入効果とは
   3. 加速するクリーン化の要求
   4. ものづくり環境はどうあるべきなのか。
      • 良い清浄環境とは? 良い製造環境とは?
   5. クリーン化技術関連マップの解説
   6. クリーンルームの目的とは
   7. クリーンルームの活用事例
   8. クリーンルームの分類
   9. クリーンルームのはじまり～歴史
   10. クリーンルームの定義
   11. クリーンルーム環境の留意点
   12. クリーンルームの方式と特徴
   13. 二つの清浄化メカニズム
   14. HEPA/ULPAフィルターとは
   15. エアーフィルターの捕集原理と捕集効率
   16. なぜ、クリーン化四原則なのか
   17. クリーン度の表し方/クラス比較
   18. クリーンルームの日常管理 等
2. クリーンルームの清掃と見える化機器の活用管理
   1. クリーン化における清掃は技術として捉えよう
   2. この差ってなんですか?:掃除と清掃の違いって分かりますか。
   3. クリーンルームの清掃の目的と意義
   4. 「3つ」の管理POINTと標準化:いつ?誰が?どうやって?
   5. 生産環境における清浄化対象箇所
   6. 清掃はいつやるのが良いのか。:始業時?終業時?昼休み前後?
   7. クリーン化の四原則における清掃の位置付け:除去/排除する
   8. クリーンルームの占有状態と言う捉え
   9. 清浄化の重点箇所と留意点:加工点/保管場所/搬送系
   10. 「見える化機器」の活用法
   11. なぜ、見える化が必要なのか
   12. 気流の可視化も重要。:浮遊異物は気流によって運ばれる。
   13. クリーンルームの清掃方法
       1. 清掃作業員の適正化も大切
       2. 清掃方法の分類と方法:その1 日常/定期/特別と言う捉え
       3. 清掃方法の分類と方法:その2 簡易/普通/精密と言う捉え
       4. 清掃方法に関する留意事項:清掃し易い環境をつくる etc
       5. 清掃の手順はどうするのか。
       6. 清掃資材の汚れ状態も確認しよう
       7. 清掃用具類のあり方
       8. 清掃方法の効果と比較
       9. 静電気による粒子付着に対する清掃POINT
       10. 粘着マットの剥がし方にも注意を!
3. 見える化機器の実演と粗大粒子計測実演
   1. 見える化機器を活用した、浮遊する異物の確認と付着異物の確認
   2. 落下塵カウンターによる粗大粒子計測: シリコンウエハを試料板とする
   3. 実演を通して、受講者に体験して実際を感じてもらうことを主眼とする
4. 防塵衣の管理と身近な発塵源と発塵対策
   1. なぜ、防塵衣を着るのでしょうか。
   2. 防塵衣の適正化に取組む各メーカー
   3. 人間の動作と発塵量
   4. クリーンルーム内のゴミ・異物の割合は?
   5. 皮膚からの発塵の抑制の考え方
   6. 防塵衣に求められる性能
   7. 織り込み導電繊維の効果って知ってますか。
   8. 防塵衣の性能を発揮するには?
   9. 防塵衣着用時の発塵機構を知ろう。
   10. 動作発塵評価 3事例ご紹介
   11. ポンピング発塵データご紹介
   12. 評価環境と機器類とは
   13. 防塵衣クリーニングのあり方:専用クリーニング
   14. 身近な発塵源と発塵対策:粗大粒子の捉え
       1. 身近な発塵源の状況可視化:動画でご紹介
       2. クリーンルーム内で使用する資材の評価と評価方法/データ
       3. 粗大粒子と言う捉え
       4. クリーンルームの中には、5μm以上の異物はないのでしょうか。
       5. 自工程で不良につながる異物粒径を知ろう
       6. 粗大粒子による影響が大きい
       7. 粗大粒子が原因となった不良事例 3点
       8. JISによる粒子の分類と定義
       9. 微粒子と粗大粒子の挙動/振る舞いの違い
       10. 気中パーティクルカウンターの特性
       11. パーティクルカウンターの吸引量による違いを知ろう
       12. ゴミ・異物の大きさと挙動の認識 (鉄1kgと綿1kgどっちが重い?)
       13. 粗大粒子対策は換気回数を上げても、減少しない。
       14. 粗大粒子は見える化出来る!
       15. 粗大粒子の見える化から数値化/数値管理法
       16. ISO-14644シリーズ
       17. ISO-14644-9 表面清浄度規格:SCP規格
       18. ISO準拠 粗大粒子測定器:落下塵カウンターの概要
           • 実演とのコラボ連携
5. クリーン化における静電気対策
   1. クリーン化において、なぜ静電気に注力するのか
   2. 静電気の基礎
      1. 静電気の基礎知識
      2. 静電気の影響
      3. 静電気の測定
      4. 静電気対策
         1. 静電気対策法
         2. 静電気対策の基本
         3. アースと対策事例
         4. 加湿による対策法
         5. 界面活性剤による対策法
         6. イオナイザーによる対策法
            • イオナイザーの種類と活用法
            • 除電メカニズム
            • イオナイザーの現場活用 (良い事例/悪い事例)
• 質疑応答・名刺交換