洗浄技術のメカニズム、選び方と使い方、洗浄度評価

第1部 電気電子分野における洗浄の方法と装置 – 理解、課題と解決の視点 -

(2020年5月13日 10:00〜11:30)

　洗浄の方法と装置を理解し、課題を見抜き、解決方法を考える視点を解説する。特に、装置内の水の動き、そこで進む化学反応、理想的な水流を簡便に創り出す方法、などについて解説する。

1. 半導体洗浄の基礎現象
   1. 流れ、熱、拡散、反応
   2. 装置内流れの種類
      • 循環流れ
      • 一方向流れ
2. 枚葉式洗浄機の流れと反応
   1. 流れの可視化観察方法と例
   2. 流れの計算
   3. 表面反応の解析例
3. バッチ式洗浄機の流れ
   1. 流れの可視化観察方法と例
   2. ノズル設計の視点
   3. 排出設計の視点
   4. 検証方法
• 質疑応答

第2部 液中粒子測定法による洗浄評価

(2020年5月13日 13:30〜14:30)

　洗浄プロセスは、洗浄対象、汚染物質、洗浄方法によって種々の管理評価がなされている。本講座では主に液中パーティクルカウンタによるウェット洗浄のプロセスにおける汚染粒子管理と洗浄対象の清浄度評価について解説する。

1. 液中粒子測定による洗浄評価
   1. 液中粒子測定の市場動向
   2. 洗浄プロセスの評価
   3. 基板表面の清浄度管理
2. 液中粒子測定
   1. 光散乱式液中粒子計数器
      1. 原理、特徴
   2. 新たな液中粒子の計数技術
      1. 原理、特徴
3. 洗浄プロセスにおける粒子測定
   1. 粒子脱離法による洗浄度評価
   2. 洗浄装置、洗浄材料の評価
• 質疑応答

第3部 ファインバブルの基礎とファインバブル洗浄技術

(2020年5月13日 14:45〜15:45)

　ウルトラファインバブル洗浄の実用化は最近、洗濯機、浴槽およびシャワーヘッドなど民生分野において著しく進んでいる。また従来から排水処理や水質浄化技術に利用が進んでいる。最近では商業施設や車両洗浄にむけての研究や、平滑な固体平面に付着した粉末の洗浄技術開発も進んでいる。本講演では主として排水処理および固体表面がウルトラファインバブル水で洗浄される場合の特性について解説する。

1. ファインバブルの基礎
   1. ファインバブルとは
   2. ファインバブルの製造法
   3. ファインバブルの計測法
2. ファインバブルによる水質浄化
   1. 浮上分離法
   2. 吸着
   3. 応用例
3. ファインバブルによる固体面洗浄
   1. 洗浄の基礎
   2. 固体面のファインバブル洗浄
   3. 超音波を併用したファインバブル洗浄
• 質疑応答

第4部 超音波洗浄を中心とした洗浄技術とその応用

(2020年5月13日 16:00〜17:00)

1. 超音波洗浄の基礎
   1. 超音波とは?
   2. 超音波洗浄機の仕組み
   3. 超音波洗浄機の種類と特徴
2. 超音波洗浄のメカニズム
   1. 超音波洗浄の効果
   2. キャビテーションとは?
   3. キャビテーション発生のメカニズム
3. 超音波洗浄のポイント
   1. 洗浄効果を左右する条件は?
   2. 周波数の選定
   3. 液条件と洗浄効果
4. まとめ
• 質疑応答

第5部 紫外線とオゾン (O3) による光洗浄を中心としたドライ洗浄技術とその応用

(2020年5月13日 16:00〜17:00)

　洗浄工程はモノづくりにおいて歩留まりに大きな影響を与える重要工程。 基材や前後工程に応じた最適な洗浄プロセスを選定することが必要となる。 今回は洗浄技術の中でもドライ洗浄、特に光を活用した安全・簡便な洗浄技術について解説する。

1. 洗浄の基礎/予備知識
2. UV/オゾン洗浄の洗浄原理
3. 評価・分析方法と実例
4. 応用事例紹介/機器選定のポイント
• 質疑応答