クリーン化技術の基礎と異物発生・付着防止・除去の注意事項

講師は100以上ものクリーンルームにおいてクリーン化教育、異物対策の指導を行ってきたが、製品・プロセスが異なっても、多くの企業において共通的な問題を抱えており、異物不良改善のネックになっている。その課題は、クリーン化技術の基本が十分理解されておらず、クリーンルームの管理も形だけになっている。異物問題が発生しても、どうすれば異物発生源を特定できるのか、有効な対策はどのようにうつのか、などが知識・経験不足のため、結果として試行錯誤または対策出来ずに野放しになっている。 　本セミナーでは、講師の経験をもとに上記の課題解決と、適切な異物対策の進め方を受講者にお伝えしたい。 　基本的な異物発生原因の正しい理解をもとに、どこから異物が発生し製品に付着するのかを的確に把握し、的を射た異物付着防止や除去を行う手順を伝授いたします。

1. 清浄化技術の基本
   • 基本が無ければ、まともな応用 (異物対策) もできない。したがって、まず清浄化技術 (含む静電気) の基本を紹介する。特に、従来のクリーンルーム管理や異物対策を行う上で欠けている内容に力点を置く。
   1. 異物とその特性
   2. クリーンルームの基本
   3. Contamination管理の道具
   4. Contamination Control 設計の基本
   5. 静電気の基本
   6. 静電気対策の道具
   7. 異物除去方法と注意事項
2. 清浄化技術の応用 (異物発生・付着防止・除去のノウハウ、注意事項)
   • 講師が実際に清浄化対策を指導してきた経験をもとに、クリーンルームの管理、異物対策において問題になっていた内容を中心に実例を混じえて紹介する。
   1. クリーン化管理と異物付着防止、異物除去
      • クリーンルーム管理の問題と要注意事項
      • 人体起因の異物問題と無塵衣・更衣室管理
      • 局所清浄化と作業起因発塵事例
      • 清掃の注意事項
      • 設備起因の発塵
      • 材料起因、部品起因、搬送起因の異物問題
      • プロセス起因の異物問題
      • 静電気による異物問題と対応
   2. クリーン化対策の推進
      • 清浄化の推進対策と異物対策の進め方 (推進体制、教育)
      • 異物管理の統計的手法事例 (半導体工場)
      • 異物対策の具体的推進方法
3. Process固有の異物・静電気の問題と対策の事例
   1. 洗浄乾燥工程
   2. フォトリソグラフィー工程
   3. 塗装、印刷工程
   4. 射出成型工程
   5. 手作業の組立検査工程
   6. 蒸着膜付け工程 等
• 質疑応答