薄膜の剥離メカニズムと密着性改善

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本セミナーでは、界面や表面、膜応力や剥離・破壊の基礎から解説し、密着性改善の考え方、密着力の評価方法について詳解いたします。

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プログラム

本セミナーでは、薄膜の密着性の問題に実践的に対処する際に知っておくべき基本的な内容について、できるだけ平易に解説します。  特に、界面や表面、膜応力や剥離・破壊の基本知識と、密着性改善の考え方、密着力の評価方法について詳しく解説します。具体例として、主に金属や無機のスパッタリング薄膜を取り上げますが、樹脂コーティング膜等についても実例を挙げながら解説します。さらに、様々な剥離形態をどのように観察して剥離発生の要因を考えるか、密着力測定の結果をいかに材料設計に活かすか、実際に剥離が発生した場合に具体的にどのように対処するかについてクローズアップします。  初学者、中堅技術者で薄膜の密着性に関して基本知識から習得したい方、新製品開発やトラブルシューティングで密着性に関する技術課題を解決したい方、さらには品質管理等で密着性の評価技術の本質を理解したい方に適した内容です。本講座を通じて、密着性の概略を把握していただき、現象の本質を理解して、個々の技術課題に対応される第一歩となれば幸いです。

  1. なぜ剥離が発生するのか:知っておきたい基礎知識
    1. 薄膜の剥離問題で苦労する理由:膜剥離を理解・対策するための3つのポイント
    2. 剥離に影響を与える材料的要因と剥離発生要因の簡単な見分け方:観察による剥離要因の推定
    3. 異種材料間の界面構造を知ろう
    4. 表面/界面エネルギーと密着力の意味するもの
    5. 密着と粘着・接着との違い
    6. なぜ膜応力が剥離へ大きな影響を与えるのか?
    7. 剥離・破壊を理解し、剥離を起こさない考え方の基本
  2. 密着性をどのように評価するか
    1. 密着力測定の注意点:測定条件の影響と測定値の持つ意味
    2. 様々な密着力評価方法の特長と注意点:テープテスト・3点曲げテスト
    3. スクラッチテストによる密着性評価方法の詳解:有用性を支える3つのポイントと密着性改善につながる材料設計への活かし方
  3. 密着性を改善するには
    1. 密着性改善につながる効果的な考え方
    2. 異種材料界面と表面/界面の改質手法
  4. 剥離/密着不良が起こった場合にどのように対処するのか
    1. 対処手順と解析の方法
    2. ケーススタディ1:様々な剥離形態により発生要因を読み取る具体例
    3. ケーススタディ2:剥離原因を絞込み、密着性改善対策をおこなう手順の具体例
  5. まとめ
  6. 質疑応答

会場

品川区立総合区民会館 きゅりあん
140-0011 東京都 品川区 東大井5丁目18-1
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