大気圧プラズマによる微粉体の表面改質処理

凝集しやすく表面積の大きい微粉体/微粒子を工業的に扱う際には、外部と接触するその表面の改質が重要課題とされている。 　そのため、様々な表面処理での改質手法がとられているが、全粒子に対して、一度に、均一に、かつ大量に、高い効果を持った処理を行うことは容易ではない。 　本講義ではその解決への一方策として、従来の低圧プラズマ処理ではあまり例をみなかった、微粉体/微粒子への大気圧プラズマによる表面改質処理を中心に、大気圧プラズマの基礎と、応用技術を紹介する。

1. 大気圧プラズマとは
   1. 大気圧でのプラズマ生成のメカニズム
   2. 大気圧プラズマの生成条件
      (低温プラズマと高温プラズマ)
   3. 大気圧プラズマの特性
2. 高温プラズマによる超微粉体の生成
3. 微粉体/微粒子の大気圧プラズマ処理
   1. ウェット処理との比較
      • 処理量
      • 効果
      • 効果持続性
   2. 粉体の分散と均一処理
   3. 一次処理と大気圧プラズマでの二次処理
   4. 化学反応とメカニズム
   5. 導入される官能基の特定と割合
   6. 生成される膜の厚さと性質
4. 大気圧プラズマの今後の展開
   処理例: 大気圧プラズマによる微粉体の酸化処理と水中分散性の向上
   1. 酸化チタン微粒子のTEOSを用いた吸着-ドライ法によるSiO2薄膜の生成
   2. PE微粉体の大気圧CVDプラズマ処理
   3. 高温プラズマによるシリカ超微粒子生成とバイオ分野への応用

• 質疑応答・名刺交換