本セミナーでは、静電気の基礎について説明し、半導体・液晶製造等のクリーンルームにおける静電気障害について触れ、イオナイザーの除電原理、種類と特徴、具体的な選定方法と使用上の注意点、除電性能評価方法について解説いたします。
半導体・液晶製造、医薬品製造、フィルム製造等の工場 (クリーンルーム) において、 静電気帯電や静電気放電による静電気障害が製品不良を引起し、大きな問題になっている。 本講演では、理解を深めるため、まず静電気の基礎について説明する。次に半導体・液晶製造、医薬品製造、フィルム製造等のクリーンルームにおける静電気障害について説明し、その対策として、イオナイザーについて、イオナイザーの除電原理、イオナイザーの種類と特徴、イオナイザーの具体的な選定方法と使用上の注意点、イオナイザーの除電性能評価方法を説明する。また、イオナイザーをクリーンルームで使用する上での問題点と最新のクリーンルーム用イオナイザーについて述べる。更に、イオナイザーを使用しない接地による静電気対策 (防爆施設等における静電気対策) についても具体的に平易に詳細に説明する。 本講演では、聴講者が、静電気の基礎から静電気対策全般までの広範囲な知識 (初心者から中級者までのレベル) を習得できるように、平易に詳細に説明する。また、イオナイザーは、用途によっていろいろなタイプのものが多数市販されている。除電対象に合わせて適切なイオナイザーを選定することは、除電効果を決める重要なポイントである。それ故、本講演では、聴講者が、イオナイザーの適切な選定方法や使用方法を習得できるように配慮して説明する。更に、イオナイザーを使用しない接地による静電気対策についても、聴講者が実際に静電気対策を実施できるように配慮して説明する。