クリーンルームにおける粗大・微小粒子対策の取り組み方

クリーンルームの汚染は目に見えません。その目に見えない粒子を制御するには、理論と経験が必要です。しかし、現状の参考書は、理論的な説明ばかりで、実践的なことの対策方法に関する説明はありません。また、粒子といっても10μmの粒子とサブミクロン粒子とは、ピンポン玉とガスタンクほど大きさの違いがあり、当然クリーンルームにおける挙動は異なります。本講座では、大小粒子対策に関し実践的に尚かつわかりやすく説明させていただきます。

1. はじめに
   1. クリーンルームが汚染される理由。そしてまず取り込むべきこと
   2. クリーンルームの発塵源
   3. クリーンルーム内における大小粒子の動き
   4. クリーンルーム内における大小粒子の原因
2. クリーンルームの仕組み
   1. クリーンルームの構造
   2. 清浄度は何できまるか?
3. フィルタ
   1. フィルタが捕集できる粒径
   2. 正しいHEPA交換時期
4. クリーンルームの汚染対策
   1. 大小粒子の発見方法
   2. クリーンルームの入室方法
   3. 人体からの発塵
   4. クリーンルーム用衣服及びその管理
5. クリーンルームの清掃に関して
   1. 清掃方法
   2. 道具
   3. 管理
6. クリーンルームのメンテナンス
   1. メンテナンスの目的
   2. 最低限行うべきメンテナンス
• 質疑応答