スパッタリング法活用のための総合知識と実務ノウハウ

スパッタリングは、エレクトロニクスをはじめとした様々なシーンで用いられる重要な成膜技術です。しかし、量産技術をどのように確立し、改善するのか?についてのノウハウはあまり知られていません。 　本講座では、スパッタリング薄膜の品質の安定化、密着性改善、生産性向上、トラブル対応など、実務上の重要ポイントを網羅的・具体的に解説します。スパッタリングの基礎を学びたい方から実務エキスパートを目指す方まで、大変お勧めです。スパッタリング薄膜の開発、生産技術に携わる実務者はもちろん、外部委託により薄膜を活用する技術者にとっても、重要な知識を得ることができます。

1. [基礎編] スパッタリング法の基礎
   1. 薄膜の基本を押さえよう
   2. スパッタリング法と他の成膜技術との違いとは
   3. スパッタリング薄膜の用途と今後の展開について
   4. スパッタリング装置の構成を把握しよう
   5. スパッタリング工程の運用と管理について
2. [基礎編] スパッタリング法の物理現象
   1. 物理現象を把握することの重要性
   2. スパッタリングの物理現象1 (プラズマ放電)
   3. スパッタリングの物理現象2 (スパッタリング)
   4. スパッタリングの物理現象3 (組織形成)
   5. スパッタリングのパラメータを整理しよう
3. [基礎編] スパッタリング薄膜の評価・分析技術
   1. スパッタリング薄膜に求められる性能とは
   2. 膜厚・形状の評価方法とポイント
   3. 各種特性評価の方法とポイント
   4. 元素・状態分析の方法とポイント
   5. 結晶構造評価の方法とポイント
   6. 機械的性質・密着性評価の方法とポイント
4. [応用編] スパッタリング薄膜の特性安定化
   1. 特性実現と特性安定化という2つの課題
   2. 特性とパラメータの間にあるものを理解しよう
   3. プロセスのばらつき・変動要因について
   4. プロセスのリアルタイム分析の方法とポイント
   5. スパッタリング薄膜の特性安定化のポイント
   6. 特性悪化トラブルシューティング 事例と対策
5. [応用編] スパッタリング薄膜の密着性・信頼性確保
   1. 薄膜の密着と剥離のメカニズム
   2. 剥離解析からの原因追究のポイント
   3. 信頼性評価…密着性、機械的強度、各種試験
   4. スパッタリング薄膜の密着性確保のポイント
   5. 密着性トラブルシューティング 事例と対策
6. [応用編] スパッタリング薄膜の微小欠陥・外観異常対策
   1. スパッタリング薄膜の欠陥モード
   2. スパッタリング薄膜の外観検査とモニタリング
   3. ピンホール・付着異物の原因究明と対策
   4. 変色・しわ・しみの原因究明と対策
   5. 外観トラブルシューティング 事例と対策
7. [応用編] スパッタリング工程の生産性改善
   1. スパッタリング工程の原価を把握しよう
   2. スパッタリング工程のコスト改善手法
   3. スパッタリング工程の運用体制と稼働率
   4. スパッタリング工程の稼働率改善法
   5. メンテナンスを安全化しよう
   6. 生産性改善アプローチの事例
8. スパッタリング薄膜応用の最新事例
• 質疑応答・名刺交換