クリーンルームの清浄度維持とその計測・評価

第1部 クリーンルームの基礎、洗浄度維持と作業管理手法

(2018年12月7日 10:00〜15:00)

1. クリーンルームの基礎
   1. 清浄度とは何か?
   2. クリーンルームの種類・形式・変遷
2. クリーンルーム内の汚染物質[塵埃]
   1. 塵埃の性質
      1. 気流との関係、拡散範囲
      2. [演習]空気中で微小粒子はどのように移動するのか?
      3. 発塵による塵埃の拡散 (その汚染範囲は?)
   2. 人・物からの発塵
      1. 拡散範囲、内圧変動、摺動発塵
      2. 製品と人と製造装置の位置関係の影響
      3. 衣類の摺動による発塵
      4. 人からの発塵
3. クリーンルーム内の作業員管理と教育
   1. クリーンルームの4原則
   2. クリーンスーツ着衣人体からの発塵機構
      1. クリーン手袋からの発塵
      2. クリーンスーツ内の圧力変動
      3. クリーンスーツを通しての発塵
      4. [演習]人体からの塵埃拡散範囲
   3. 人の適正な位置取り・適正な動作とは?
   4. クリーンスーツの選定、洗濯頻度
      1. クリーンスーツ選定の要件
      2. クリーンスーツのフィルタ効率と運動発塵量との関係
      3. クリーンスーツの劣化
   5. クリーン手袋は上か下か?
   6. エアシャワーの効果
4. さらなる清浄化への指針 (対策)
   1. 微小塵埃/ミスト/気流を把握 → そして対策へ
   2. 普遍的な対策コンセプトとは?
   3. 除去/抑制の手順と考え方
5. クリーンルームの清掃
   1. 清掃の種類と方法
   2. 各部位の清掃方法・頻度、特定表面の清掃
   3. 注意点
6. クリーンルームの国内外関連規格の最新動向
   • ISO規格
   • JIS規格
   • JACA指針など
7. 参考文献紹介
   • 初級～上級まで、主要なものを表紙画像と内容も含め紹介
• 質疑応答

第2部 クリーンルーム内での浮遊微粒子の挙動発生と留意点、モニタリングの必要性

(2018年12月7日 15:15〜17:00)

1. 浮遊粒子の挙動
   1. 粒子の発生のメカニズム
   2. 粒子の分離
      • 慣性
      • 重力
      • 静電気
      • 拡散
      • 熱泳動
   3. 粒子の沈着、付着
2. クリーンルーム内での汚染要因
   1. 発塵源
   2. 作業員からの発塵
3. 浮遊粒子の計測
   1. 計測技術
      • 顕微鏡
      • 光散乱式
      • 凝縮法 等
   2. 光散乱式パーティクルカウンターの原理
4. クリーンルームでの粒子モニタリング
   1. スポット測定
   2. 連続モニタリング
   3. 測定での注意点 (サンプリング)
5. クリーンルーム内作業での留意点とモニタリングの必要性
   1. 歩行、作業、
   2. モニタリング例
• 質疑応答