本講座では、真空システムの設計・製造・運転および保守を行う上で、何に気を付けるとトラブルと失敗を避け、無駄なくそのシステムの性能を発揮できるようになるか、その背景にある真空の基礎物理を学び、トラブルと失敗の症状、原因、および対策を解説する。
- 基礎の無理解とブラックボックス化がトラブルと事故を起こす!
- 基礎の無理解が引き起こした真空作業の大事故例
- この章の主なキーワード
- MRIや液体窒素容器などの爆発事故例
- 事故時の担当者に欠けていた基礎物理を確認する問題例
- リスクマネジメントとハインリッヒの法則
- 無駄なトラブルと事故を避けるため、2時間で学ぶ真空物理の基礎のキ!
- 気体分子運動論と気体の性質
- 気体の流れと真空排気
- 真空排気の理想と現実
- ガス放出速度とは
- この章の主なキーワード
- 真空容器内のガス分子
- 真空度と分子密度
- 気体の流れの分類
- 気体の速度分布
- 気体分子の平均自由工程
- 気体分子の入射頻度
- 真空の領域区分
- 有効排気速度とコンダクタンスの合成
- 真空排気を邪魔する5つのガス源
- 排気の方程式
- 理想的な真空表面
- 表面への気体の入射頻度と吸着
- 表面における気体の滞在時間と脱離
真空材料と加工
- 材料とその特性
- 材料特性を無視した材料選び (使用して後悔する材料)
- 機械加工・接合
- 低真空用でも無視できない表面処理・表面改質
- 低真空用でもベーキング・プリベーキングはご利益あり
- この章の主なキーワード
- 真空材料に必要な諸特性
- SUS304と316の違いと使い分け
- 真空用マシーナブル・セラミックス
- 真空用エンジニアリング・プラスチック
- 真空材料の機械加工法・接合法
- 部品の接合、表面処理、リークテストの順序
- 実用表面の初期状態と加工変質層
- 真空機器の洗浄と表面処理
- 真空機器加工発注時の重要なポイント
真空機器構成部品
- 各種真空ポンプの原理と特徴
- 各種真空計と残留ガス質量分析計の原理と特徴
- その他、真空システムアクセサリー
- この章の主なキーワード
- 丈夫で長持ち、油回転ポンプ
- 製品の油汚染に要注意、油拡散ポンプ
- ポンプ寿命に気を付けよう、ドライポンプ
- オイルフリーポンプのキャッチコピーを疑え!
- 多様化で選択肢が増えたターボ分子ポンプ
- 真空計の校正は?
- 汚染される程、良い真空度!
- ポンプと真空計の最新トレンド
真空システムの設計・製造・運転・保守におけるトラブル事例と解決法
- 真空容器・部品材料の選択ミス
- 排気ポンプと真空計の選択ミス
- 真空ポンプが無駄になる真空配管
- オイルフリー排気系の落とし穴
- その操作ではせっかくの真空システムが汚れてしまう
- ケチってはいけない真空システムアクセサリー・周辺機器・設備
- この章の主なキーワード
- 真空装置設計上の一般的検討項目と装置固有の検討項目
- 真空容器の機械的強度
- 恐ろしい擬似リーク
- 時間を無駄にしないリークテスト法
- 真空機器が出すノイズ、貰うノイズ
- 真空計では測れないダストパーティクル
- 少ないトラブルに必要な人間工学的設計
- 思った以上に気体が通り易いエラストマー
- 間違っているのを知らずに汚染を進めている、ポンプの起動
まとめ