本セミナーでは、熱プラズマの原理、プラズマの特性や物性、計測方法などの基礎を解説いたします。
また、ナノ粒子を合成するためのプロセスの最新の研究動向およびプロセスの原理も紹介いたします。
プラズマを発生する方法として、直流放電、交流放電、高周波放電が用いられており、これらの従来のプラズマ発生システムに加え、プロセッシングの要求に応えるために新しい熱プラズマ発生システムの研究が盛んです。従来はブラックボックスとして扱われてきた電極現象をin situで観測する技術も開発されており、電極の変動現象や消耗機構の解明が進んでいます。 プラズマを利用したプロセッシングとしてはナノ材料合成が最も注目されています。特に熱プラズマを用いるナノ粒子の製造法は、一段のプロセスで、安価でかつ大量にナノ粒子を製造することができるという長所を有していますが、産業界に広く使われるためには、プラズマ中におけるナノ粒子の生成機構の解明と、より制御されたプロセッシングの開発が必要です。 本セミナーでは、アーク放電や高周波放電等による熱プラズマの発生方法の原理、それぞれのプラズマの特性、プラズマ物性、プラズマの計測方法などのプロセッシングにおいて必要な基礎知識を論じ、さらにナノ粒子を合成するためのプロセスの最新の研究動向およびプロセスの原理を紹介します。