クリーンルームの基礎と清浄度の維持管理・評価方法

クリーンルームは、以前半導体デバイスを生産するに必要な環境を、醸成する為に必須でした。このために米国や日本において、まずクリーンルームが研究・開発されてきました。最近では医薬、食品、業界などで、要求が増してきています。このような要請から、益々その範囲や扱う品種もふえてきました。この意味で、皆様方の考究する分野は、ますます増えてきております。期待に応えるべくおおいに頑張ってください。

1. クリーンルームの現状
   • クリーンルームの必要性
   • クリーンルームの利用分野
   1. 方式と特徴
      1. 非層流クリーンルーム
      2. 水平層流型クリーンルーム
      3. 垂直層流クリーンルーム
      4. 複合方式クリーンルーム
      5. クリーンルーム方式の特徴
   2. 清浄度規格
   3. 発塵量の推定
   4. 非層流型クリーンルームの清浄度計算式
      1. 層流型クリーンルームの清浄度計算式
      2. 人体および衣服からの発塵量
      3. 装置、器材からの発塵量
      4. 外気中の塵挨濃度
      5. クリーンルーム内発塵量
2. クリーンルームの空調設備と保守管理
   1. 空気調和設備
   2. フィルタおよびフィルタユニット
   3. 保守管理
3. 清浄化の進め方
   1. 気流、清浄度の測定
   2. 静電気の問題
   3. 職場での着眼点
4. 職場管理の要点
   1. 職場のクリーン化とは
   2. クリーンルーム内での作業教育のありかた
• 質疑応答

付録

• 関連JIS規格
• CRの木
• 粒子の分布
• 静電気対策リスト
• PM2.5問題