本セミナーでは、多層膜の基礎から解説し、表面分析・界面分析について基礎からポイント、課題と対応策について詳解いたします。
電子産業などを中心に様々な分野で種々の薄膜が利用されており、技術的要求の高度化から多くが多層薄膜として利用されている。薄膜技術では、薄膜自体に加えて、界面が全体特性に対して大きな役割を担っている。 特に、薄膜化の進行により多層膜は界面の集合体というレベルにまでなっている。しかし、単層であってもその本当の姿を知ることが難しい界面が、多層膜ではより複雑化していることから、材料開発、プロセス開発の難度は上がり続けている。 本講演では、多層膜技術で必要不可欠な界面はもちろん、界面形成に深く関係する接着性を切り口に、多層膜とその形成プロセス可視化のためのアプローチについて、重要となる分析手法の原理や特徴も含めて事例も交えながら詳細に解説を行う。