洗浄度評価技術と残存表面汚れの定量評価手法

フロン、トリクロロエタンの使用禁止に伴い、各企業において水系または炭化水素系などの代替洗浄への転換が図られてきた。しかし、転換後において、洗浄工程の制御に困難をきたしている企業もある。 　一方、電子部品や機械部品においても、半導体洗浄レベルの清浄度が要求される事例が増えてきている。しかし、部品供給企業における洗浄度の評価は、外観や目視判定によるものが多く、残存汚染物量の定量的な把握がなされていないのが現状である。 　代替洗浄への転換に伴って発生する洗浄不良を解決し、高い要求清浄度を達成可能な適切な洗浄を行うためには、まず被洗浄物の洗浄度を把握することから始まり、生産現場でも利用可能な、定量的な洗浄度の評価方法を確立し、洗浄プロセスの構築を図ることが必要である。精密洗浄レベルでの被洗浄物の汚れを定量測定するには、FT-IRやXPSといった分析機器が必要であるため、その結果を洗浄条件に反映させるには手間と時間がかかっていた。そこで、生産現場で容易に定量測定できる洗浄評価法の開発を試みた。 　今回は評価法の開発と、環境負荷を低減するような水系洗浄方法の開発について説明を行う。更に実例を交えて講演を行う予定である。

1. 概要
2. 現場的測定法
   1. 簡易的評価法～目視判定
   2. 定量的評価法
3. 機器による測定法
   1. 粒子の計測及び同定
   2. 有機物質測定
   3. 無機物質測定
4. 洗浄度評価に関する研究事例
   1. 水ぬれ性と残存汚染量の相関
   2. 水晶振動子を用いた洗浄プロセス評価
   3. 新規洗浄度評価装置の開発
5. 洗浄評価実験事例紹介
6. 環境負荷低減水系洗浄方法の開発
7. まとめ
8. 質疑応答・名刺交換・個別相談