ガラス鏡面研磨における酸化セリウム使用量低減技術

国家プロジェクトで進んでいるガラスの鏡面研磨材酸化セリウムの使用量削減技術について紹介します。 　新しく開発した複合砥粒やエポキシ樹脂研磨パッドを用いることで研磨能率が飛躍的に上昇し、しかも幾何学的精度も向上します。 　この一連の技術は、NHKニュースやNHK教育テレビサイエンスZERO、テレビ東京のワールドビジネスサテライトで大きく取り上げられ、NEDO一番の注目技術となっています。ぜひその驚くべき性能に触れてください。

　遊離砥粒研磨においては、工作物と砥粒の相対速度が研磨能率に大きく影響する。砥粒の研磨パッドでの保持特性を向上するために、有機無機複合砥粒やエポキシ樹脂研磨パッド等の開発を行っている。 　そのことが酸化セリウムの使用量を削減し、酸化ジルコニウムによる代替を可能にしている。それら一連の技術について紹介する。

1. NEDOプロジェクトの概要
   1. 自己紹介
   2. レアアースとしての酸化セリウム
   3. 酸化セリウムの砥粒としての特異性
   4. NEDOプロジェクトの概要
   5. 使用量削減の戦略
2. 複合粒子研磨法と複合砥粒
   1. 複合粒子研磨法の特徴
   2. 複合粒子研磨法による削減技術
   3. 複合砥粒の特徴
   4. 複合砥粒を用いた研磨の加工条件依存性
3. 高機能研磨パッドの開発
   1. 多孔質エポキシ樹脂研磨パッドの特徴
   2. エポキシ樹脂研磨パッドの加工条件依存性
   3. 工具機上再生と研磨パッドの表面処理技術
   4. 隙間調整型研磨パッドの特徴

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