EPMA電子線マイクロアナライザーを広く深く正確に利用する徹底講座

各種マイクロアナライザーの標準機とも言われるEPMAは、金属・鉱物・セラミックス・高分子・生体などあらゆる固体のμm領域の成分・状態解析の標準機として広く使われています。しかし、間違った思い込みやデータ解析の落とし穴も少なくありません。装置・手法の基本と特徴と応用、そして先端的応用、さらに、ミクロの真実に迫る重要観点について、分かりやすく、そして突っ込んでお話しします。

1. EPMAの基礎
   1. 電子と試料の相互作用
   2. 電子・X線の振舞い
   3. 基本的分析モード
   4. 元素分析と状態分析
2. 装置の構成
   1. 基本構成
   2. 電子ビーム照射系と重要条件
   3. X線分光検出系と重要条件
   4. 電子信号の検出
   5. X線取り出し角度の意味と分析精度
3. 事例に基づく各種分析法
   1. 定性分析法と注意
   2. 定量分析法の種類と特徴
   3. 面分析法と注意
   4. X線スペクトルによる状態分析
4. 試料作成とデータ信頼性
   1. 試料作成のツボ
   2. 試料コンタミネーション
   3. 研磨、エッチングの注意
5. 故障解析への利用
   1. 故障の原因か故障の結果か
   2. 様々な故障原因とマイクロアナリシス
6. 非常に重要な空間分解能
   1. 美しいデータや興味深いデータは正しいデータか
   2. 空間分解能とはなにか
   3. 極表面、薄膜、バルク試料の空間分解能
   4. 空間分解能と分析感度
   5. 走査像/マッピングの落とし穴
7. 特別な機能
   1. カソードルミネッセンス
   2. チャンネリング
   3. 磁区観察
   4. コッセルパターン
8. X線分析の最先端技術の紹介