スパッタリングは、エレクトロニクスをはじめとした様々なシーンで用いられる重要な成膜技術です。しかし、量産技術をどのように確立し、改善するのか?についてのノウハウはあまり知られていません。
本講座では、スパッタリング薄膜の品質の安定化、密着性改善、生産性向上、トラブル対応など、実務上の重要ポイントを網羅的・具体的に解説します。スパッタリングの基礎を学びたい方から実務エキスパートを目指す方まで、大変お勧めです。
はじめに
- 本講座の狙いについて
- スパッタリング技術者の業務と必要スキル
基礎編
- スパッタリング法の基礎
- 薄膜の基本を押さえよう
- スパッタリング法と他の成膜技術との違いとは
- スパッタリング薄膜の用途と今後の展開について
- スパッタリング装置の構成を把握しよう
- スパッタリング工程の運用と管理について
- スパッタリング法の物理現象
- 物理現象を把握することの重要性
- スパッタリングの物理現象1 (プラズマ放電)
- スパッタリングの物理現象2 (スパッタリング)
- スパッタリングの物理現象3 (組織形成)
- スパッタリングのパラメータを整理しよう
- スパッタリング薄膜の評価・分析技術
- スパッタリング薄膜に求められる性能とは
- 膜厚・形状の評価方法とポイント
- 各種特性評価の方法とポイント
- 元素・状態分析の方法とポイント
- 結晶構造評価の方法とポイント
- 機械的性質・密着性評価の方法とポイント
応用編
- スパッタリング薄膜の特性安定化
- 特性実現と特性安定化という2つの課題
- 特性とパラメータの間にあるものを理解しよう
- プロセスのばらつき・変動要因について
- プロセスのリアルタイム分析の方法とポイント
- スパッタリング薄膜の特性安定化のポイント
- 特性悪化トラブルシューティング 事例と対策
- スパッタリング薄膜の密着性・信頼性確保
- 薄膜の密着と剥離のメカニズム
- 剥離解析からの原因追究のポイント
- 信頼性評価…密着性、機械的強度、各種試験
- スパッタリング薄膜の密着性確保のポイント
- 密着性トラブルシューティング 事例と対策
- スパッタリング薄膜の微小欠陥・外観異常対策
- スパッタリング薄膜の欠陥モード
- スパッタリング薄膜の外観検査とモニタリング
- ピンホール・付着異物の原因究明と対策
- 変色・しわ・しみの原因究明と対策
- 外観トラブルシューティング 事例と対策
- スパッタリング工程の生産性改善
- スパッタリング工程の原価を把握しよう
- スパッタリング工程のコスト改善手法
- スパッタリング工程の運用体制と稼働率
- スパッタリング工程の稼働率改善法
- メンテナンスを安全化しよう
- 生産性改善アプローチの事例
- スパッタリングの技術力向上
- スパッタリングの量産課題を解決しよう
- スパッタリング薄膜の開発のポイント
- スパッタリング装置の導入・スケールアップ
- スパッタリングのシミュレーション技術
- 新しい技術を導入して革新を起こそう
- 強い工程になるための組織づくり