蛍光X線分析を使いこなすための必須知識と測定・解析のコツ

蛍光X線分析を始めたばかりの初心者、これから始める人にもわかりやすい内容で、蛍光X線分析の原理から解析・応用までの一連の手法を紹介します。 　また、SEM – EDSとエネルギー分散蛍光X線分析 (EDXRF) 法との違いを明確にするなど、どういう時にどんな表面分析装置を用いたら良いかの概論についても言及するとともに、実際に蛍光X線分析を行っている方々の悩みや疑問の解決の助力となる分析例の紹介も行います。さらに、蛍光X線分析法を拡張した異物分析についての紹介も行います。

1. X線分析入門
   1. 知っておきたいX線分析の基礎
   2. X線の発生
   3. X線の検出
   4. X線の性質
2. 蛍光X線分析
   1. 蛍光X線分析とは
   2. 蛍光X線分析装置の種類
   3. 蛍光X線の発生原理
   4. 一次フィルターと二次フィルター
3. 蛍光X線分析の実際
   1. 試料の調整法
   2. 定性分析
      1. スペクトルのエネルギーと定性分析について
      2. バックグラウンドの補正
      3. サムピーク,エスケープピーク,回折ピーク
      4. デコンボリューション
      5. 元素マッピング
   3. 定量分析
      1. 検量線法
      2. FP法
   4. 分析に必要な知識
      1. 管電圧と測定時間の決定
      2. 各種補正
   5. 膜厚の測定
4. その他
   1. SEM – EDSとXRFとの違い他
   2. 異物分析
5. 蛍光X線分析の例
• 質疑応答・名刺交換