モイスチャー (湿気) に含まれる微小な水滴はその大きさにより肌への浸透のしやすさが異なったり、モイスチャーに由来する結露も、水滴の大きさにより、ガラスの曇りやカビの発生が異なるとされている。このような現象の制御や対策のためには、微小な水滴を検出し、その大きさを判別する必要があるが、既存の湿度計や結露検出器では、原理的に難しい。当機構が開発しているモイスチャーセンサを用いることで、この検出と判別を高感度・高精度・小型・高速に可能にできる。 本講演では、モイスチャーセンサの測定原理、半導体加工技術を用いたチップ作製、計測システムの構築例、実測例とアプリケーション例、センサの提供 (利用) 方法について、解説する。