薄膜工学の基礎と応用

薄膜工学については多くの書籍が出版されていますが、理論的な説明が多く、初学者には近寄りがたい印象があります。そこで薄膜工学の全体像が理解できるように、演者の薄膜での実務経験から薄膜の基礎的事柄、作成法、応用についてそのポイントをやさしく解説いたします。 　薄膜作成法については、真空成膜からソルゲル法、インクジェット等の湿式成膜についても述べるとともに、応用については光学薄膜だけでなく透明導電膜から光配向膜に至るまで広範囲に説明いたします。

1. 薄膜の基礎
   1. 薄膜の特徴
   2. 電気的・光学的評価法
   3. 機械的特性の評価
   4. 膜構造の評価
   5. 電気化学的評価
2. 薄膜の作製法
   1. 真空蒸着法
   2. スパッタリング法
   3. CVD法
   4. ゾルゲル法
   5. インクジェット印刷
   6. フレキソ印刷
3. 薄膜の応用
   1. 光学薄膜
   2. 透明導電膜
   3. 調光ガラス
   4. 色素増感太陽電池
   5. 固体電池
   6. 有機EL
   7. バリア膜
   8. 光配向膜