新しいプラズマ表面処理技術

プラズマを用いて材料の表面処理を行うと、材料の本来持っている性能を向上できることや新しい機能を付与できることが知られている。 　産業において、「プラズマ窒化」、「大気圧プラズマジェット」などプラズマを用いた技術が既に利用されているが、従来技術の限界も明らかになっており、さらに進んだ技術の開発が期待されている。 　本講座では、低圧プラズマを用いる新しい光輝窒化法と、遠くにある材料の表面処理を可能にした大気圧プラズマジェット装置について解説する。

1. 低圧プラズマを用いる金属材料の表面処理技術
   1. 工業化されている表面処理技術
   2. プラズマ窒化処理技術の現状
   3. 従来技術の問題点
   4. 望ましいプラズマ処理技術とは
2. アトム窒化法の開発
   1. 何が鉄窒化物層の形成に影響しているのか。
   2. 窒化処理の主役は窒素原子
   3. 電子ビーム励起プラズマとは
   4. 低エネルギー大電流電子ビーム源の開発
   5. アトム窒化装置の開発
3. アトム窒化装置の性能
   1. 光輝窒化が可能
   2. 窒化処理速度
   3. 狭いスリット内面の窒化が可能
   4. 工具の複合硬化処理とその効果
4. 大気圧プラズマを用いる表面処理
   1. 大気圧放電プラズマについて
   2. 高繰返し放電を用いた大気圧プラズマジェットの重要性
   3. コロナ放電処理との違い
   4. 誘電体バリアー放電との違い
   5. 大気圧プラズマジェットを用いた表面処理の例
5. 長いプルームを持つ大気圧プラズマジェットの開発
   1. 遠くまで届く大気圧プラズマジェットの必要性
   2. 大気圧プラズマジェットの分光測定
   3. 大気圧プラズマジェットの構造
   4. 向上した表面処理性能
6. スリット型ノズルの大気圧プラズマジェットの開発
   1. 広い幅を均一に表面処理する必要性
   2. スリット型ノズルの開発
   3. 拡大した表面処理幅
   4. 成膜の試み

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