本セミナーでは、MEMS圧力、加速度、ジャイロセンサ技術の基礎から解説し、機械設計技術・加工製作技術・電気検出回路技術について、豊富な実例を通して具体的に詳解いたします。
MEMS三次元加工技術は、現在、圧力センサを初めとして多くの分野に応用されています。特に、MEMS技術を利用した加速度センサやジャイロセンサは、近年、車やゲーム機器市場で需要が急速に拡大したことから、大きな注目が集まっています。 本講義では、MEMS圧力、加速度、ジャイロセンサ技術の基礎から実務までを広く理解することを目的にしており、1) 機械設計技術、2) 加工製作技術、3) 電気検出回路技術、を豊富な実例を通して具体的に講義します。