表面分析の基礎と応用

表面分析手法は、今や研究開発の場だけでなく、一般の工業製品の生産性や歩留りを向上するために、広く世界中の工場でも活用されています。例えばその具体的な例としては、表面汚染・変色の防止に始まり、表面粗さ・変形・歪みの制御や、電気伝導度や腐食・防食の性能の制御など、多種多様な目的で品質保証の分野で広く利用されています。 　本セミナーでは、走査型電子顕微鏡 (SEM) , 電子線マイクロアナライザー (EPMA) , オージェ電子分光装置 (AES) , X線光電子分光装置 (XPS) などの各分析装置の原理や特徴を基礎から説明し、具体的な活用事例や分析事例を使ってわかりやすく解説いたします。

1. 表面分析とは
   1. 表面の定義
   2. 表面分析の重要性
   3. 各SEM, EPMA, AES, XPSなどの表面分析装置の分析領域とその目的
2. 走査型電子顕微鏡 (SEM)
   1. SEMの原理と特徴
   2. SEMで得られる情報と分析深さ
   3. エネルギー分散型X線検出器 (EDS) の特徴
   4. SEMで得られる分析結果 (定性分析, 定量分析, 面分析など)
   5. 応用分析事例
3. 電子線マイクロアナライザー (EPMA)
   1. EPMAの原理と特徴
   2. EPMAで得られる情報と分析深さ
   3. 波長分散型X線検出器 (WDS) の特徴
   4. EPMAで得られる分析結果 (定性分析, 定量分析, 面分析など)
   5. 応用分析事例
4. オージェ電子分光装置 (AES)
   1. AESの原理と特徴
   2. AESで得られる情報と分析深さ
   3. AESで用いられる電子分光器の特徴
   4. AESで得られる分析結果 (定性分析, 定量分析, 面分析など)
   5. 応用分析事例
5. X線光電子分光装置 (XPS)
   1. XPSの原理と特徴
   2. XPSで得られる情報と分析深さ
   3. XPSで用いられる電子分光器の特徴
   4. XPSで得られる分析結果 (定性分析, 定量分析, 面分析など)
   5. 応用分析事例
6. まとめ
• 質疑応答