自動車用センサの基礎と応用

1970年代から始まった排ガス規制対応のためのエンジン制御の電子化はカーエレクトロニクスの幕開けとなり、その後各種のシステムが電子化され、自動車は走るエレクトロニクスと言われるほどに発展してきました。これら電子システム実現のためのキーデバイスの一つがセンサであり、自動車用センサは1980年代後半からのMEMSセンサ実用化とも相まって飛躍的な進化を遂げてきました。 　本講演の前半ではこの自動車用センサの概要と発展の歴史、特にその中で中心的な役割を果たしてきたMEMSセンサの基本構成、特徴から製造技術 (マイクロマシーニング技術) まで出来るだけ平易にわかりやすく解説いたします。 　後半では代表的な自動車用センサである加速度センサ、角速度センサ、圧力センサ、エアフローセンサ、磁気式回転センサについて基本構造、動作原理から設計のポイント、信号処理手法、開発例など実用的な内容も含めてお話ししたいと思います。さらに近年話題となっている自動運転に必要なITS用センサについても概略を解説し、最後に自動車用センサの今後の展望について私見を述べさせていただきたいと思います。

1. 自動車用センサ
   1. 自動車用センサの概要
   2. 自動車用センサ開発の歴史
   3. 自動車用センサの特徴
   4. 自動車用センサの信頼性
2. 半導体センサ
   1. 半導体センサの概要
   2. 半導体センサの特徴
   3. MEMSセンサ開発の歴史
   4. マイクロマシーニング技術
      1. エッチング技術
      2. 接合技術
      3. バルクマイクロマシーニング技術
      4. サーフェスマイクロマシーニング技術
3. 加速度センサ
   1. 基本構造と検出方式
   2. 加速度センサの基本特性
   3. 加速度センサ開発の歴史
   4. 各種方式の開発例
4. 角速度センサ
   1. 基本構造と検出方式
   2. 角速度センサの基本特性
   3. 各種方式の開発例
5. 圧力センサ
   1. 基本構造と検出方式
   2. 圧力センサの応用例
   3. 集積化圧力センサの開発例
6. エアフローセンサ
   1. 基本構造と検出方式
   2. 各種方式の開発例
7. 磁気式回転センサ
   1. 基本構造と検出方式
   2. 磁気センサの基本特性
   3. 各種磁気センサの開発例
8. ITS用センサ
   1. ITS用センサの概要
   2. レーザレーダ
   3. ミリ波レーダ
   4. イメージセンサ
   5. 赤外線イメージセンサ
   6. ITS用センサの開発例
9. 自動車用センサの今後の展望