電鋳の基礎技術と最新状況と新たな可能性

電鋳技術は古くから利用されており、金属のコピーといわれるレコード用スタンパーから、フォトリソ技術の融合によりDVD, BDのスタンパー、メタルマスク、印刷用メッシュ等の微細加工に普及してきた。近年では、通常の機械加工では製造が困難な高精度、超微細部品にその電鋳技術と微細加工技術の組み合わせによるMEMS部品の開発が進められている。 　今回の講演では、光ディスクマスタリング (ニッケル電鋳スタンパー製造) における、トラブルシューティングを通じ、ニッケル電鋳の基礎技術から、解決に至る工程を事例とともに紹介する。また、最新電鋳事情としてニッケル合金、貴金属電鋳によるMEMS部品生産の事例 (薬品、装置) の一部を解説し、電鋳技術による新たな可能性を紹介する。

1. はじめに
2. 電鋳の特徴
3. 光ディスクスタンパーのトラブルシューティング
   1. ニッケル電鋳によるスタンパー種類
   2. 裏面突起による不良とは
   3. 突起削減試験
      1. 仕上げ電鋳条件による試験・結果
      2. アンモニア濃度管理による突起削減試験・結果
      3. 光沢剤添加試験・結果
      4. フィルター見直し試験・結果
      5. ピット防止剤の選定及び濃度管理試験・結果
      6. 最終決定条件によるロングランテスト結果
4. ニッケル合金による電鋳部品
   1. 中空微細部品の製造工程
   2. ニッケル合金の特徴
5. ロジウムによる電鋳部品
   1. ロジウムの特徴
   2. ロジウムによるMEMS部品
   3. ロジウム電鋳の課題と対策
   4. ロジウム電鋳に適したウエファー用めっき装置
6. 電鋳による新たな可能性について
7. おわりに
• 質疑応答・名刺交換