本セミナーでは、電鋳の基礎から解説し、ニッケル合金、貴金属電鋳によるMEMS部品生産の事例 (薬品、装置)について詳解いたします。
電鋳技術は古くから利用されており、金属のコピーといわれるレコード用スタンパーから、フォトリソ技術の融合によりDVD, BDのスタンパー、メタルマスク、印刷用メッシュ等の微細加工に普及してきた。近年では、通常の機械加工では製造が困難な高精度、超微細部品にその電鋳技術と微細加工技術の組み合わせによるMEMS部品の開発が進められている。 今回の講演では、光ディスクマスタリング (ニッケル電鋳スタンパー製造) における、トラブルシューティングを通じ、ニッケル電鋳の基礎技術から、解決に至る工程を事例とともに紹介する。また、最新電鋳事情としてニッケル合金、貴金属電鋳によるMEMS部品生産の事例 (薬品、装置) の一部を解説し、電鋳技術による新たな可能性を紹介する。