スパッタリングによる薄膜形成技術向上セミナー

スパッタリングは、エレクトロニクスをはじめとした様々なシーンで用いられる重要な成膜技術です。しかし、量産技術をどのように確立し、改善するか?についてのノウハウはあまり知られていません。 　本講義では、膜の密着性改善、品質の安定化、生産性向上、トラブル対応など、実務上の重要ポイントを網羅的・具体的に解説します。スパッタリングの基礎を学びたい方から実務エキスパートを目指す方まで、大変お勧めです。

1. スパッタリングの基礎
   1. スパッタリングにおける物理現象を理解しよう
   2. スパッタの特徴・・長所と短所とは
   3. スパッタ装置の基本的装置構成を押さえる
   4. スパッタ膜の現在の用途と今後の可能性について
2. 膜物性を最適化しよう
   1. 膜の機械・光学・電気物性を知る
   2. 物性とパラメータの間にあるものを理解しよう
   3. コンディションのあらゆる変動要因を知ろう
   4. 膜の分析技術を駆使しよう
   5. ガス分析データを解析するとここまで分かる
   6. 望ましい物性を得るための多種多様なアプローチ
   7. 品質を安定させるための管理方法
   8. 複合膜・勾配膜による性能実現のポイント
3. 微小欠陥への対処方法
   1. 微小欠陥の発生メカニズム
   2. 微小欠陥の検査・検出と集計の効率化
   3. 欠陥の解析による原因究明から対策までの流れ
   4. 欠陥の直接/間接的モニタリングの実際
   5. 生産性と欠陥のトレードオフへの考え方
4. 膜の密着性・信頼性を確保するには
   1. 剥離はなぜ起こるのか
   2. 密着性評価の各種手法
   3. 密着性を改善するためのアプローチ
   4. 各種信頼性評価の目的を理解する
   5. 評価の効率化と品質管理の負荷を抑える方法
   6. 一般的評価方法の限界、独自の評価技術を確立しよう
5. 生産性を向上させるには
   1. サイクルタイムの考え方と制約条件を知る
   2. スパッタ装置のメンテナンスサイクルを理解する
   3. 稼働率を見える化しよう
   4. 稼働率を上げるための方法とポイントを押さえよう
   5. 打ち手の選択・・作業負荷、改造コストから最終判断
6. スパッタの実務トラブル対策
   1. うまく搬送できない
   2. 真空度が上がらない
   3. ターゲットの利用効率が悪い
   4. ターゲットから発塵してしまう
   5. メンテナンスにものすごく時間と手間がかかる
   6. 変色、シミ、シワが発生する
   7. 過去より欠陥が増えたが原因が分からない
   8. 面内ばらつき、ワーク間ばらつきが大きい
   9. よく装置が壊れる
   10. テスト結果が再現しない
7. スパッタ装置の能力を最大限に引き出すには
   1. 用途による装置の進化・発展の違い
   2. インライン装置の特徴と性能を引き出すポイント
   3. 枚葉装置の特徴と性能を引き出すポイント
   4. ロールtoロール装置の特徴と性能を引き出すポイント
8. スパッタ装置を導入・改造するにはここを押さえよう
   1. 装置仕様決定のステップと最重要項目
   2. 装置導入のための評価方法とチェックポイント
   3. 改造でできる事とできない事を知る
   4. 遊休装置を復活させるときに押さえるべきポイント
• 質疑応答・名刺交換