本セミナーでは、スパッタや真空蒸着法で形成された金属・無機薄膜を中心に取り上げ、応力制御や密着性改善のために必要な基本知識から、具体的な測定法や剥離トラブルの対処法について解説いたします。
本講演では、スパッタや真空蒸着によって作成される薄膜において、精密な膜質制御しようとする際に必要となる、真空やプラズマの基礎知識から成膜現象の詳細、膜応力や剥離の発生メカニズムと改善策や評価方法、反応性成膜や多層膜における膜質制御に至るまで、具体的な成膜や特性改善事例をまじえながらわかりやすく解説します。 主に無機・金属薄膜を取り上げますが、最新の話題を含めてできるだけ幅広い成膜技術を紹介します。 スパッタ・真空蒸着のみならず広く薄膜形成プロセスに関わる初学者、中堅 (開発) 技術者に適した内容で、基本知識から実践技術まで系統的に学びたい方、現在成膜や応力・密着力に関する問題を抱えられている方、これから成膜技術をより深く理解して製品開発に取り組まれようとされる方に実際に役に立つ内容を提供したいと思います。